申请/专利权人：株式会社迪思科

申请日：2021-03-29

公开（公告）日：2021-10-12

公开（公告）号：CN113496919A

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101);H01R24/76(20110101)

优先权：["20200407 JP 2020-068811"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.03.24#实质审查的生效;2021.10.12#公开

摘要：本发明提供加工装置，能够在加工装置的附近容易地使用电子设备。加工装置包含：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；加工单元，其对保持在卡盘工作台上的被加工物实施加工；以及板，其将包含卡盘工作台和加工单元在内的构成要素包围。在板上配设有电源插座30，从而能够使用包含检查装置、个人计算机、电风扇、吸尘器在内的电子设备。

主权项：1.一种加工装置，其中，该加工装置具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；加工单元，其对保持在该卡盘工作台上的被加工物实施加工；板，其将包含该卡盘工作台和该加工单元在内的构成要素包围；以及电源插座，其配设在该板上，包含检查装置、个人计算机、电风扇、吸尘器在内的电子设备能够与该电源插座连接而进行使用。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社迪思科 加工装置

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