申请/专利权人:株式会社东芝
申请日:2021-03-26
公开(公告)日:2021-10-12
公开(公告)号:CN113495190A
主分类号:G01R27/08(20060101)
分类号:G01R27/08(20060101)
优先权:["20200401 JP 2020-065528","20210311 JP 2021-039088"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2021.10.29#实质审查的生效;2021.10.12#公开
摘要:提供一种能获得测定对象物的电阻分布的电阻映射装置、电阻测定装置、电阻测定方法、程序及记录介质。电阻映射装置具备:第一芯片,具有第一面以及位于第一面的相反侧的第二面,在第一面设有多个第一电极;第二芯片,具有与第一面对置的第三面以及位于第三面的相反侧的第四面,在第三面设有与多个第一电极对应的多个第二电极;以及测定部,与多个第一电极和多个第二电极电连接,在第一芯片与第二芯片之间配置有测定对象物的状态下,能够在测定对象物中测定多个第一电极和多个第二电极中的相互对应的各第一电极与第二电极之间的部分的电阻,取得使电阻的测定值与在测定对象物中与多个第一电极分别对应的位置相关联的映射数据。
主权项:1.一种电阻映射装置,具备:第一芯片,具有第一面以及位于所述第一面的相反侧的第二面,在所述第一面设有多个第一电极;第二芯片,具有与所述第一面对置的第三面以及位于所述第三面的相反侧的第四面,在所述第三面设有与所述多个第一电极对应的多个第二电极;以及测定部,与所述多个第一电极和所述多个第二电极电连接,在所述第一芯片与所述第二芯片之间配置有测定对象物的状态下,能够在所述测定对象物中测定所述多个第一电极和所述多个第二电极中的相互对应的各第一电极与第二电极之间的部分的电阻,取得使电阻的测定值与所述测定对象物中的和所述多个第一电极的每一个对应的位置相关联的映射数据。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 株式会社东芝 电阻映射装置、电阻测定装置、电阻测定方法、程序以及记录介质
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