申请/专利权人：佳能株式会社

申请日：2021-03-31

公开（公告）日：2021-10-12

公开（公告）号：CN113495428A

主分类号：G03F7/00(20060101)

分类号：G03F7/00(20060101);G03F7/20(20060101);G03F9/00(20060101);H01L21/67(20060101);H01L21/68(20060101)

优先权：["20200403 JP 2020-067783"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.04.22#实质审查的生效;2021.10.12#公开

摘要：本发明涉及位置对准装置、图案形成装置及物品的制造方法。为了提供能够减少驱动中的负荷并且能够以简单的构造对基板进行调温的位置对准装置，本发明涉及的位置对准装置60具备：基板保持部3，其将基板1保持于基板保持面；基板调温部8，其经由基板保持部3对基板1进行调温；驱动部4、5、6、7，其使基板保持部3移动；以及控制部，其控制驱动部4、5、6、7，基板调温部8在与基板保持面不同的、基板保持部3的第二面接触的状态下对基板1进行调温。

主权项：1.一种位置对准装置，其特征在于，具备：基板保持部，其将基板保持于第一面；基板调温部，其经由所述基板保持部来对所述基板进行调温；驱动部，其使所述基板保持部移动；以及控制部，其控制所述驱动部，所述基板调温部在同与所述第一面不同的、所述基板保持部的第二面接触的状态下对所述基板进行调温。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 佳能株式会社 位置对准装置、图案形成装置及物品的制造方法

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