【发明公布】显示装置的制造装置_三星显示有限公司_202110356769.7 

申请/专利权人:三星显示有限公司

申请日:2021-04-01

公开(公告)日:2021-10-12

公开(公告)号:CN113496920A

主分类号:H01L21/67(20060101)

分类号:H01L21/67(20060101)

优先权:["20200403 KR 10-2020-0041072"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2021.10.12#公开

摘要:本发明的一实施例公开一种显示装置的制造装置,包括:第一喷嘴部,包括放出第一源气体的第一喷嘴单元以及布置于所述第一喷嘴单元的外侧并排出所述第一源气体的第一排气部;以及第二喷嘴部,沿第一方向与所述第一喷嘴部并排排列,并且包括放出第二源气体的第二喷嘴单元以及布置于所述第二喷嘴单元的外侧并排出所述第二源气体的第二排气部,其中,所述第一排气部以及所述第二排气部中的至少一个放出清洗气体。

主权项:1.一种显示装置的制造装置,包括:第一喷嘴部,包括放出第一源气体的第一喷嘴单元以及布置于所述第一喷嘴单元的外侧并排出所述第一源气体的第一排气部;以及第二喷嘴部,沿第一方向与所述第一喷嘴部并排排列,并且包括放出第二源气体的第二喷嘴单元以及布置于所述第二喷嘴单元的外侧并排出所述第二源气体的第二排气部,其中,所述第一排气部以及所述第二排气部中的至少一个放出清洗气体。

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