申请/专利权人：仕富梅集团公司

申请日：2021-04-06

公开（公告）日：2021-10-12

公开（公告）号：CN113498244A

主分类号：H05H1/48(20060101)

分类号：H05H1/48(20060101);G01N21/73(20060101)

优先权：["20200406 GB 2005079.5","20200407 GB 2005140.5"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.04.21#实质审查的生效;2021.10.12#公开

摘要：提供了用于使用辉光放电光发射光谱法GD‑OES进行气体分析以增强确定样品气体的气体成分的方法，设备和系统。第一种方法包括：在等离子体单元中产生一个或多个振荡电磁场，以激励单元中的粒子，在等离子体单元中产生辉光放电等离子体，并在使气体混合物流过等离子体单元以保持辉光的同时控制等离子体单元的工作条件在所需的工作范围内从等离子体释放光发射；和监测来自所述等离子体单元中的等离子体的一种或多种辉光放电光发射；其中，所述对光发射的监测包括以两倍的等离子体激励频率测量光发射或测量与光发射相关的信号；和在电磁激励的每个激励周期期间处理信号，以确定流过所述等离子体单元的气体混合物中的气体的浓度。

主权项：1.一种方法，包括：在等离子体单元中产生一个或多个振荡电磁场，以激励单元中的粒子，从而在所述等离子体单元中产生辉光放电等离子体，并在使气体混合物流过所述等离子体单元的同时控制所述等离子体单元的操作条件，以将来自等离子体的辉光放电光发射保持在期望的操作范围内；以及监测来自所述等离子体单元中的等离子体的一种或多种辉光放电光发射；其中，对光发射的监测包括以两倍的等离子体激励频率来测量所述光发射或测量与所述光发射相关的信号；以及在电磁激励的每个激励周期期间处理信号，以确定流过所述等离子体单元的气体混合物中的气体的浓度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 仕富梅集团公司 辉光等离子体气体测量信号处理

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