申请/专利权人：细美事有限公司

申请日：2021-04-07

公开（公告）日：2021-10-12

公开（公告）号：CN113496926A

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101);H01L21/66(20060101)

优先权：["20200407 KR 10-2020-0042396"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.01.14#实质审查的生效;2021.10.12#公开

摘要：本发明公开了用于去除基板上的物质的基板处理方法和基板处理装置。为了去除基板上的物质，将包含药液和水的处理液供给到所述基板，形成通过表面张力来维持的液膜；通过所述物质与所述处理液之间的反应，从所述基板去除所述物质。测定通过所述物质与所述处理液之间的反应而形成的副产物粒子的尺寸分布，根据所述副产物粒子的尺寸分布，控制所述处理液的供给。

主权项：1.一种基板处理方法，其特征在于，包括如下步骤：为了去除基板上的物质，将包含药液和水的处理液供给到所述基板，形成通过表面张力来维持的液膜的步骤；通过所述物质与所述处理液之间的反应，从所述基板去除所述物质的步骤；测定通过所述物质与所述处理液之间的反应而形成的副产物粒子的尺寸分布的步骤；以及根据所述副产物粒子的尺寸分布，控制所述处理液的供给的步骤。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 细美事有限公司 基板处理方法以及基板处理装置

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