【发明公布】喷嘴装置及基板处理装置_细美事有限公司_202110379011.5 

申请/专利权人:细美事有限公司

申请日:2021-04-08

公开(公告)日:2021-10-12

公开(公告)号:CN113495431A

主分类号:G03F7/16(20060101)

分类号:G03F7/16(20060101);G03F7/30(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权:["20200408 KR 10-2020-0042877"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2021.10.12#公开

摘要:本发明提供了一种喷嘴装置。所述喷嘴装置包括:喷嘴主体,包括喷嘴头,所述喷嘴头具有用于将处理液喷射到基板上的排出口;喷嘴移动单元,用于使所述喷嘴主体相对于基板移动;旋转部件,用于使所述喷嘴主体或所述喷嘴头旋转以使处理液在旋转的同时喷射到基板上;以及控制单元,用于控制所述喷嘴移动单元和所述旋转部件的操作。

主权项:1.一种喷嘴装置,所述喷嘴装置包括:喷嘴主体,其包括喷嘴头,所述喷嘴头具有用于将处理液喷射到基板上的排出口;喷嘴移动单元,其用于使所述喷嘴主体相对于基板移动;旋转部件,其用于使所述喷嘴主体或所述喷嘴头旋转以使处理液在旋转的同时喷射到基板上;以及控制单元,其用于控制所述喷嘴移动单元和所述旋转部件的操作。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 细美事有限公司 喷嘴装置及基板处理装置