买专利,只认龙图腾
首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

【发明授权】一种完全消除重力影响的薄基片变形测量装置_合肥工业大学_202010465671.0 

申请/专利权人:合肥工业大学

申请日:2020-05-28

公开(公告)日:2021-11-16

公开(公告)号:CN111457856B

主分类号:G01B11/16(20060101)

分类号:G01B11/16(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.11.16#授权;2020.08.21#实质审查的生效;2020.07.28#公开

摘要:本发明涉及一种完全消除重力影响的薄基片变形测量装置,属于薄基片变形测量技术领域。包括二维运动平台、控制机构和负压机构;二维运动平台上设有重液槽和激光三角位移传感器;激光三角位移传感器的激光发射窗口和接收窗口正下方设有弯折玻璃;重液槽内设有重液和负压机构的三个球铰式负压吸嘴。用于薄基片变形测量时,被测薄基片的密度和重液的密度相等;被测薄基片由三个球铰式负压吸嘴吸附,完全浸没于重液中,被测薄基片的重力与重液的浮力完全相等,被测薄基片的重力不对自身的实际变形有影响,通过激光三角位移传感器扫描测量即可得到被测薄基片的实际变形。本发明不需要额外利用有限元软件仿真计算,测量成本显著降低。

主权项:1.一种完全消除重力影响的薄基片变形测量装置,包括二维运动平台(8)和控制机构,二维运动平台(8)的工作台面上设有重液槽(3),重液槽(3)内设有用于测量的重液(4),二维运动平台(8)的横梁上通过安装板(2)设有激光三角位移传感器(1),所述激光三角位移传感器(1)的下端面对着下方的重液槽(3);所述控制机构包括电脑和主控制器;其特征在于:所述安装板(2)上的下部固定设有弯折玻璃(5),所述激光三角位移传感器(1)的激光发射窗口和接收窗口正对着下方的弯折玻璃(5);所述弯折玻璃(5)由两块平板玻璃连接组成,两块玻璃长度相等,弯折玻璃(5)的一侧玻璃与入射光束相垂直,另一侧玻璃与反射光束相垂直;弯折玻璃(5)上表面在重液(4)的液面之上,弯折玻璃(5)下表面在重液(4)中;所述弯折玻璃(5)的两侧边之间的夹角为100-150度;还包括负压机构,负压机构包括三个球铰式负压吸嘴(7)和负压控制机构;所述三个球铰式负压吸嘴(7)均布设于重液槽(3)内底部,三个球铰式负压吸嘴(7)的进气口分别通过软气管(9)连接着负压控制机构的工作口,三个球铰式负压吸嘴(7)的吸嘴向上;所述球铰式负压吸嘴(7)包括吸嘴(12)和支撑座;所述吸嘴(12)的上部为喇叭口状,吸嘴(12)的下部为球体,吸嘴(12)的喇叭口和球体之间设有贯通的气道;与吸嘴(12)上的球体配合所述支撑座上设有球座,所述支撑座上设有连通球座的气孔;吸嘴(12)和支撑座通过球体和球座的配合活动连接,实现吸嘴(12)在支撑座上的自由转动;所述支撑座包括上支座(13)和下支座(14);与吸嘴(12)的球体配合的上支座(13)上部设有球座,上支座(13)上开设有贯通球座的气孔;所述下支座(14)为管状,下支座(14)的一端呈法兰盘状;上支座(13)的下部固定连接着下支座(14)的法兰端;所述吸嘴(12)的材料为硅胶,所述支撑座的材料为聚酰胺塑料;所述负压控制机构包括第一换向阀(19)、第二换向阀(21)和真空发生器(10);所述第一换向阀(19)的工作口连通着真空发生器(10)的进口,所述第二换向阀(21)的进口连通着真空发生器(10)的出口;所述第一换向阀(19)为二位四通机械换向阀,所述第二换向阀(21)为二位二通机械换向阀;被测薄基片的密度和重液(4)的密度相等;用于薄基片变形测量时,释放气源(18),启动真空发生器(10),被测薄基片由三个球铰式负压吸嘴(7)吸附,完全浸没于重液(4)中,被测薄基片的重力与重液(4)的浮力完全相等,被测薄基片的重力不对自身的实际变形有影响,通过激光三角位移传感器(1)扫描测量即可得到被测薄基片的实际变形。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 合肥工业大学 一种完全消除重力影响的薄基片变形测量装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

相关技术
相关技术
相关技术
相关技术