买专利,只认龙图腾
首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

【发明公布】半导体膜_日本碍子株式会社_201980093708.7 

申请/专利权人:日本碍子株式会社

申请日:2019-09-10

公开(公告)日:2021-11-19

公开(公告)号:CN113677833A

主分类号:C30B29/16(20060101)

分类号:C30B29/16(20060101);C30B29/22(20060101);H01L21/205(20060101)

优先权:["20190424 JP PCT/JP2019/017515"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2021.12.07#实质审查的生效;2021.11.19#公开

摘要:本发明提供结晶缺陷明显较少的半导体膜。该半导体膜具有由α-Ga2O3或α-Ga2O3系固溶体构成的刚玉型结晶结构,半导体膜的至少一个表面的结晶缺陷密度为1.0×106cm2以下。

主权项:1.一种半导体膜,其具有由α-Ga2O3或α-Ga2O3系固溶体构成的刚玉型结晶结构,所述半导体膜的特征在于,所述半导体膜的至少一个表面的结晶缺陷密度为1.0×106cm2以下。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 日本碍子株式会社 半导体膜

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。