申请/专利权人：AP系统股份有限公司

申请日：2021-05-12

公开（公告）日：2021-11-19

公开（公告）号：CN113675134A

主分类号：H01L21/687(20060101)

分类号：H01L21/687(20060101)

优先权：["20200513 KR 10-2020-0057034"]

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态：2023.11.24#发明专利申请公布后的视为撤回;2021.11.19#公开

摘要：本发明涉及一种基板支撑设备和基板支撑方法。在基板支撑设备上安放由传送单元传送的基板，基板支撑设备包含：底板；第一底座部件，包含在底板上彼此间隔开的多个第一底座构件；第二底座部件，安置在第一底座构件之间且竖直地移动；以及固定部件，用于固定向上移动的第二底座部件，以便快速执行装载和卸载基板的操作且稳定地支撑基板。

主权项：1.一种基板支撑设备，在其上安放由传送单元传送的基板，所述基板支撑设备包括：底板；第一底座部件，包括在所述底板上彼此间隔开的多个第一底座构件，使得所述基板安放在所述多个第一底座构件上且所述传送单元穿过所述多个第一底座构件；第二底座部件，安装在所述底板上，使得所述第二底座部件的至少一部分安置在所述第一底座构件之间且竖直地移动；以及固定部件，配置成将所述第二底座部件固定在所述第二底座部件向上移动到的位置处。

全文数据：

权利要求：

百度查询： AP系统股份有限公司 基板支撑设备和基板支撑方法

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