申请/专利权人：细美事有限公司

申请日：2021-05-13

公开（公告）日：2021-11-19

公开（公告）号：CN113675628A

主分类号：H01R4/66(20060101)

分类号：H01R4/66(20060101);H05F3/02(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权：["20200513 KR 10-2020-0056971"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.05.02#实质审查的生效;2021.11.19#公开

摘要：本发明提供一种基板处理系统，其可以在处理静电放电ESD，ElectrostaticDischarge的同时，设定电气部件的稳定的基准接地电平。基板处理系统包括：第一接地棒，其连接到建筑物接地端；以及第二接地棒，其连接到建筑物接地端，并且与第一接地棒物理分离，其中，第一接地棒连接到第一电气部件以设定第一电气部件的接地电平，且第二接地棒专门用于带电部件，且连接到第一带电部件以设定在第一带电部件中产生的静电放电电流的路径。

主权项：1.一种基板处理系统，包括：第一接地棒，所述第一接地棒连接到建筑物接地端；以及第二接地棒，所述第二接地棒连接到所述建筑物接地端，并且与所述第一接地棒物理分离，其中，所述第一接地棒连接到第一电气部件以设定所述第一电气部件的接地电平，以及所述第二接地棒专门用于带电部件，且连接到第一带电部件以设定在所述第一带电部件中产生的静电放电电流的路径。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 细美事有限公司 基板处理系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD