申请/专利权人：松下知识产权经营株式会社

申请日：2020-02-19

公开（公告）日：2021-11-19

公开（公告）号：CN113678000A

主分类号：G01P15/08(20060101)

分类号：G01P15/08(20060101);G01P15/12(20060101);G01P15/18(20130101);G01C19/574(20120101)

优先权：["20190327 JP 2019-061934"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.03.15#实质审查的生效;2021.11.19#公开

摘要：本发明提供一种能够降低传感器特性的变化的物理量传感器。物理量传感器1包括基板2、锚定部分3、包围部分4、检测元件、移动部分6和梁部分7。锚定部分3形成在基板2的与主表面21相同的一侧上并固定到基板2。包围部分4形成在基板2的与主表面21相同的一侧上并包围锚定部分3。检测元件检测作为检测对象的物理量。移动部分6设置有检测元件的至少一部分，形成在基板2的与主表面21相同的一侧上，并且连接到包围部分4。梁部分7形成在基板2的与主表面21相同的一侧上，将锚定部分3和包围部分4连接在一起。

主权项：1.一种物理量传感器，包括：基板；锚定部分，所述锚定部分形成在所述基板的与主表面相同的一侧上并固定到所述基板；包围部分，所述包围部分形成在所述基板的与主表面相同的一侧上并包围所述锚定部分；检测元件，所述检测元件被配置为检测作为检测对象的物理量；移动部分，所述移动部分设置有所述检测元件的至少一部分，形成在所述基板的与主表面相同的一侧上，并且连接到所述包围部分；以及梁部分，所述梁部分形成在所述基板的与主表面相同的一侧上，并且将所述锚定部分和所述包围部分连接在一起。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 松下知识产权经营株式会社 物理量传感器

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