申请/专利权人：周星工程股份有限公司

申请日：2020-04-07

公开（公告）日：2021-11-19

公开（公告）号：CN113678269A

主分类号：H01L31/18(20060101)

分类号：H01L31/18(20060101);H01L31/0445(20060101);H01L21/306(20060101);H01L21/56(20060101);H01L21/78(20060101);H01L21/76(20060101)

优先权：["20190604 KR 10-2019-0065829","20190930 KR 10-2019-0120384"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.05.06#实质审查的生效;2021.11.19#公开

摘要：本发明关于制造太阳能电池的方法，太阳能电池中形成有分割部，分割部用以将用于制造太阳能电池的基板分割成多个区块，此方法包含：准备基板的工艺、第一基板蚀刻工艺、第二基板蚀刻工艺以及第三基板蚀刻工艺。第一基板蚀刻工艺是在基板的一表面形成第一凹槽。第二基板蚀刻工艺是在第一凹槽中形成第二凹槽。第三基板蚀刻工艺是蚀刻包含第二凹槽的基板。分割部可包含第一凹槽及第二凹槽。本发明关于由此方法制造的太阳能电池及用于太阳能电池的基板。

主权项：1.一种制造一太阳能电池的方法，该太阳能电池中形成有一分割部，该分割部用以将用于制造该太阳能电池的一基板分割成多个区块，该方法包含：准备该基板的工艺；第一基板蚀刻工艺，在该基板的一表面形成一第一凹槽；第二基板蚀刻工艺，在该第一凹槽中形成一第二凹槽；以及第三基板蚀刻工艺，蚀刻包含该第二凹槽的该基板，其中该分割部包含该第一凹槽及该第二凹槽。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 周星工程股份有限公司 用于太阳能电池的基板、太阳能电池及太阳能电池制造方法

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