申请/专利权人:深圳镓芯半导体科技有限公司
申请日:2021-07-08
公开(公告)日:2021-11-19
公开(公告)号:CN113675190A
主分类号:H01L27/06(20060101)
分类号:H01L27/06(20060101)
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2022.12.02#实质审查的生效;2021.11.19#公开
摘要:本发明涉及半导体制造的技术领域,公开了一种振荡组件,所述振荡组件包括半导体电阻结构和电容结构,所述电容结构设置于所述半导体电阻结构上;其中,所述半导体电阻结构包括基底层、薄膜电阻、第一绝缘层和第一引线,所述薄膜电阻嵌入设置于所述基底层内;所述第一绝缘层设置于所述基底层上并覆盖所述薄膜电阻;所述第一引线的一端连接于所述薄膜电阻上,另一端连接于所述电容结构。从而形成一个稳定的振荡组件,达到更稳定的电阻输出,可在恶劣环境下提供最稳定的高频输出,不受高辐射、极高温、极低温和高压影响,以及具有强电磁波忍受力,实现在高频率和高功率器件上的稳定应用。
主权项:1.一种振荡组件,其特征在于,所述振荡组件包括:半导体电阻结构;电容结构,设置于所述半导体电阻结构上;其中,所述半导体电阻结构包括:基底层;薄膜电阻,嵌入设置于所述基底层内;第一绝缘层,设置于所述基底层上并覆盖所述薄膜电阻;第一引线,一端连接于所述薄膜电阻上,另一端连接于所述电容结构。
全文数据:
权利要求:
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