申请/专利权人：杭州朗为科技有限公司

申请日：2021-08-23

公开（公告）日：2021-11-19

公开（公告）号：CN113667951A

主分类号：C23C14/35(20060101)

分类号：C23C14/35(20060101);C23C14/54(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.21#授权;2021.12.07#实质审查的生效;2021.11.19#公开

摘要：本发明属于磁控溅射镀膜技术领域，具体的说是一种端头绝缘磁场可调的旋转阴极，包括转轴；所述转轴上固接有从动轮；所述从动轮上啮合有传动皮带；所述传动皮带另一侧啮合有驱动轮；所述驱动轮固接在电机的输出端；所述转轴的一侧固接有磁路壁；通过在磁路壁侧面设置磁场调节机构，旋转机构内的调节螺母，使得螺杆带动磁铁靠近或远离靶材的结构设计,实现了可对磁场的大小进行调节的功能，解决了现有的旋转阴极在使用的过程中，由于磁场的大小无法调节，使得镀膜工艺的局限性较大，更换磁铁的工艺较为繁琐，使得镀膜的效率较低，且可镀膜的范围很小的问题。

主权项：1.一种端头绝缘磁场可调的旋转阴极，其特征在于：包括转轴5；所述转轴5上固接有从动轮4；所述从动轮4上啮合有传动皮带3；所述传动皮带3另一侧啮合有驱动轮2；所述驱动轮2固接在电机1的输出端；所述转轴5的一侧固接有磁路壁6；所述磁路壁6上设置有磁场调节机构7；所述磁场调节机构7的端部固接有磁钢盒9；所述磁钢盒9的内部安装有磁铁8；所述磁铁8的外部安装有靶材10；所述转轴5的另一侧固接有电刷11；所述电刷11另一侧与电极23接触。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 杭州朗为科技有限公司 一种端头绝缘磁场可调的旋转阴极

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