申请/专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司

申请日：2018-11-20

公开（公告）日：2021-11-19

公开（公告）号：CN111197148B

主分类号：C22F1/057(20060101)

分类号：C22F1/057(20060101);C23C14/34(20060101);C22C21/12(20060101);B21J5/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.11.19#授权;2020.06.19#实质审查的生效;2020.05.26#公开

摘要：一种靶材的制作方法，包括：提供铜铝合金料锭；对所述料锭进行至少两次第一锻打工艺；在每次第一锻打处理后，均对所述料锭进行第一热处理工艺；对锻打和热处理后的所述料锭进行压延；对压延后的所述料锭进行热加工工艺。多次锻打工艺与热处理工艺使所述料锭内部的晶粒组织细小，使得材料的韧性大大加强，将所述料锭进行压延使所述料锭内部结构均匀并且达到所需靶材的厚度，然后经过所述热加工工艺制造出铜铝合金靶材，且所述靶材的内部晶粒尺寸的大小通过所述热加工工艺参数的调节。

主权项：1.一种靶材的制作方法，其特征在于，包括：提供铜铝合金料锭；对所述料锭进行至少两次第一锻打工艺；在每次第一锻打处理后，均对所述料锭进行第一热处理工艺；对锻打和热处理后的所述料锭进行压延；对压延后的所述料锭进行热加工工艺；其中，对所述料锭进行第一热处理工艺温度为300℃-400℃；所述第一热处理工艺后，还包括：对所述料锭进行水冷。

全文数据：

权利要求：

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