申请/专利权人:中北大学
申请日:2019-09-24
公开(公告)日:2021-11-19
公开(公告)号:CN110570836B
主分类号:G10K9/122(20060101)
分类号:G10K9/122(20060101);B81C1/00(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2021.11.19#授权;2020.01.07#实质审查的生效;2019.12.13#公开
摘要:本发明公开一种超声换能器及其制备方法,该超声换能器自下而上依次包括:下电极、基片、第一半导体材料层、第一绝缘层及上电极;基片包括抵靠第一半导体材料层的第二绝缘层及远离第一半导体材料层的第二半导体材料层,基片上设置有空腔,空腔穿过第二绝缘层并伸入第二半导体材料层中;至少一个开口位于上电极周围;开口穿过第一绝缘层和第一半导体材料层,并与空腔连通。由于在上电极周围形成有至少一个开口,且开口通过穿过第一绝缘层和第一半导体材料层与空腔连通,使得空腔与大气连通,膜片振动不再受大气压力的影响,从而使得该换能器的灵敏度更容易控制。
主权项:1.一种超声换能器,其特征在于,自下而上依次包括:下电极、基片、第一半导体材料层、第一绝缘层及上电极;所述基片包括抵靠所述第一半导体材料层的第二绝缘层及远离所述第一半导体材料层的第二半导体材料层,所述基片上设置有空腔,所述空腔穿过所述第二绝缘层并伸入所述第二半导体材料层中;至少一个与大气连通的开口位于所述上电极周围;所述开口穿过所述第一绝缘层和所述第一半导体材料层,并与所述空腔连通。
全文数据:
权利要求:
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