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【实用新型】一种夹持多个基板的基板溅射夹具_杨武_202120894457.7 

申请/专利权人:杨武

申请日:2021-04-27

公开(公告)日:2021-11-19

公开(公告)号:CN214782116U

主分类号:C23C14/50(20060101)

分类号:C23C14/50(20060101);C23C14/34(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.11.19#授权

摘要:一种夹持多个基板的基板溅射夹具,包括工作台,工作台上开凿设有滑槽,工作台上的滑槽内滑动连接有固定柱,固定柱的顶部内滑动连接有连接柱,连接柱的顶部转动连接有顶板,固定柱的底部转动连接有底板,与现有技术相比,本实用新型的有益效果包括:通过固定连接在连接柱顶部内的电机,控制顶板在连接柱的顶部转动,从而对基板进行夹持固定时,便于调节夹持的基板的方向,一次溅射对多个基板进行加工,提高加工效率,不需要频繁拆卸;通过固定连接在固定柱顶部内的二号电动伸缩杆,控制连接柱在固定柱内进行滑动,从而调节顶板与底板之间的距离,从而便于对不同规格的基板进行夹持固定,便于对不同规格的基板进行加工,提升加工效率。

主权项:1.一种夹持多个基板的基板溅射夹具,包括:工作台1,其特征在于,所述工作台1上开凿设有滑槽2,所述工作台1上的滑槽2内滑动连接有固定柱3,所述固定柱3的顶部内滑动连接有连接柱4,所述连接柱4的顶部转动连接有顶板11,所述固定柱3的底部转动连接有底板6。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 杨武 一种夹持多个基板的基板溅射夹具

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