申请/专利权人：日商光电魂股份有限公司

申请日：2020-10-13

公开（公告）日：2021-11-23

公开（公告）号：CN113692635A

主分类号：H01J37/065(20060101)

分类号：H01J37/065(20060101);H01J37/075(20060101);H01J37/12(20060101);H01J37/26(20060101)

优先权：["20191120 JP 2019-209244"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.12.10#实质审查的生效;2021.11.23#公开

摘要：本发明提供一种适用于包括光电阴极的电子枪的电子射线应用装置以及该电子射线应用装置的电子束的射出方法。本发明包括电子枪部分、本体部分以及控制部的电子射线应用装置。所述电子枪部分包括光源、通过接收自光源所照射的激发光而射出电子束的光电阴极、以及阳极。所述本体部分包括用以将自所述电子枪部分照射的电子束进行聚焦的物镜。所述控制部至少用以根据自所述光电阴极射出的电子束的尺寸而控制所述物镜的聚焦强度。

主权项：1.一种电子射线应用装置，包括：电子枪部分；本体部分；以及控制部；所述电子枪部分包括：光源；光电阴极，通过接收自所述光源照射的激发光而射出电子束；以及阳极；所述本体部分包括：物镜，用以将自所述电子枪部分照射的所述电子束进行聚焦；所述控制部至少用以根据自所述光电阴极射出的电子束的尺寸而控制所述物镜的聚焦强度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 日商光电魂股份有限公司 电子射线应用装置及电子射线应用装置的电子束的射出方法

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