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【发明授权】玻璃基板制造方法及玻璃基板制造装置_安瀚视特控股株式会社;安瀚视特股份有限公司_201811130784.4 

申请/专利权人:安瀚视特控股株式会社;安瀚视特股份有限公司

申请日:2018-09-27

公开(公告)日:2021-11-23

公开(公告)号:CN109574472B

主分类号:C03B17/06(20060101)

分类号:C03B17/06(20060101)

优先权:["20170929 JP 2017-191414","20180914 JP 2018-172491"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.11.23#授权;2019.04.30#实质审查的生效;2019.04.05#公开

摘要:本发明的课题在于防止因来自玻璃板的掉落物引起的温度调整装置的损伤。本发明涉及一种玻璃基板制造方法及玻璃基板制造装置。玻璃基板制造方法包含冷却步骤,冷却步骤是在由炉壁包围的空间,将玻璃板朝下方向搬送并进行冷却。在空间设置有分隔构件,所述分隔构件将空间间隔成多个空间,并且形成使玻璃板通过的狭缝。在冷却步骤中,一边以通过狭缝的方式搬送玻璃板,一边使用控制玻璃板的温度的温度调整装置,进行玻璃板的冷却。温度调整装置设置在与玻璃板对向的位置,控制被间隔的空间的温度,以控制沿着宽度方向的玻璃板的温度。分隔构件具有前端部,前端部从温度调整装置的上方以面向玻璃板的方式相对于水平方向朝下方倾斜地向玻璃板延伸。

主权项:1.一种玻璃基板制造方法,其特征在于包含:成形步骤,使用溢流下拉法将熔融玻璃成形而形成玻璃板;及冷却步骤,在由炉壁包围的空间,一边以冷却辊对夹持所述玻璃板的宽度方向的两侧区域并进行冷却,一边将所述玻璃板朝下方向搬送,进而,在比所述冷却辊对更靠所述玻璃板的搬送方向的下游侧,一边利用沿所述玻璃板的所述搬送方向设置的多个搬送辊对夹持所述两侧区域,一边将所述玻璃板朝下方向搬送并进行冷却;在所述空间,设置有分隔构件,所述分隔构件将所述空间中的比所述冷却辊对更靠所述搬送方向的下游侧的空间沿着所述搬送方向间隔成多个空间,并且形成使所述玻璃板通过的狭缝,在所述冷却步骤中,一边以通过所述狭缝的方式搬送所述玻璃板,一边使用控制所述玻璃板的温度的温度调整装置,进行所述玻璃板的冷却,所述温度调整装置设置在与所述玻璃板对向的位置,控制所述被间隔的空间的温度,以控制沿着宽度方向的所述玻璃板的温度,且所述分隔构件具有前端部,所述前端部从所述温度调整装置的上方以面向所述玻璃板的方式相对于水平方向朝下方倾斜地向所述玻璃板延伸。

全文数据:玻璃基板制造方法及玻璃基板制造装置技术领域本发明涉及一种玻璃基板制造方法及玻璃基板制造装置。背景技术已知有使用下拉法制造玻璃板片材玻璃的方法。利用下拉法成形的片材玻璃具有板厚大致固定的宽度方向的中央区域、及位于中央区域的宽度方向外侧且板厚比中央区域厚的端部耳部。中央区域是产品区域。在下拉法中,为了将所成形的片材玻璃朝下方向稳定地搬送,利用搬送辊夹持片材玻璃的位于中央区域与端部的边界的区域夹持区域。且说,片材玻璃以翘曲、应变满足一定的品质基准的方式被冷却缓冷。因此,沿着片材玻璃的流动方向预先设计宽度方向的温度分布温度曲线,以在片材玻璃中实现该温度曲线的方式,使用冷却装置或温度调整装置加热器等进行严格的温度管理专利文献1。为了进行这种片材玻璃的温度管理,有时使用分隔构件在片材玻璃的附近将从上方空间向下方空间的热移动阻断。分隔构件例如逐一设置在沿着搬送方向配置的多个加热器之间,加热器以在对向的片材玻璃中实现温度曲线的方式进行片材玻璃的温度调整。[背景技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2013-212987号公报发明内容[发明所要解决的问题]片材玻璃有时会在搬送途中产生裂纹。而且,有时会从产生裂纹的片材玻璃向下方掉落玻璃片或玻璃屑。这种来自片材玻璃的掉落物例如有时会与分隔构件碰撞弹起而接触于加热器或者直接与加热器碰撞而使加热器损伤。另外,来自片材玻璃的掉落物有时会堆积在分隔构件的上表面而将自温度调整装置朝向片材玻璃的辐射热遮蔽。因此,本发明的目的在于提供一种能够防止因来自玻璃板的掉落物引起的温度调整装置的损伤的玻璃基板制造方法及玻璃基板制造装置。更具体来说,目的在于提供一种能够一边适当利用温度调整装置进行温度控制,一边保护温度调整装置不受掉落物影响,并防止掉落物堆积在分隔构件的玻璃基板制造方法及玻璃基板制造装置。[解决问题的技术手段]本发明的一形态是一种玻璃基板制造方法,其特征在于包含:成形步骤,使用溢流下拉法将熔融玻璃成形而形成玻璃板;及冷却步骤,在由炉壁包围的空间,一边利用沿所述玻璃板的搬送方向设置的多个搬送辊对夹持所述玻璃板的宽度方向的两侧区域,一边将所述玻璃板朝下方向搬送并进行冷却;在所述空间,设置分隔构件,所述分隔构件沿着所述搬送方向将所述空间间隔成多个空间,并且形成使所述玻璃板通过的狭缝,在所述冷却步骤中,一边以通过所述狭缝的方式搬送所述玻璃板,一边使用控制所述玻璃板的温度的温度调整装置,进行所述玻璃板的冷却,所述温度调整装置设置在与所述玻璃板对向的位置,控制所述被间隔的空间的温度,以控制沿着宽度方向的所述玻璃板的温度,且所述分隔构件具有前端部,所述前端部从所述温度调整装置的上方以面向所述玻璃板的方式相对于水平方向朝下方倾斜地向所述玻璃板延伸。优选所述前端部的前端位置位于所述温度调整装置所处的所述搬送方向的高度范围内。优选所述分隔构件还具有后端部,所述后端部与所述前端部连接且以远离所述玻璃板的方式延伸,且在所述温度调整装置的上方,将所述温度调整装置相对于所述搬送方向的上游侧的空间分隔开。优选所述前端部以与所述玻璃板的宽度方向的两侧区域及所述两侧区域之间的区域相面对的方式,沿所述玻璃板的宽度方向延伸,且所述前端部的倾斜角度在与所述两侧区域相面对的所述前端部的部分,比与所述两侧区域之间的区域相面对的所述前端部的部分小。优选当将所述温度调整装置称为第1温度调整装置,将所述分隔构件称为第1分隔构件,将所述前端部称为第1前端部时,在所述冷却步骤中,使用沿着所述玻璃板的搬送方向设置且至少包含所述第1温度调整装置、及配置在所述第1温度调整装置的下方的第2温度调整装置的温度调整装置列,以所述玻璃板的温度沿搬送方向依次降低的方式进行所述玻璃板的冷却,所述第2温度调整装置通过至少在所述第2温度调整装置与所述玻璃板之水平方向间延伸的第2分隔构件,相对于所述搬送方向的上游侧的空间分隔开,所述第2分隔构件具有第2前端部,所述第2前端部从所述第2温度调整装置的上方以面向所述玻璃板的方式相对于水平方向倾斜地朝所述玻璃板延伸,且所述第1前端部的延伸方向的长度比所述第2前端部的延伸方向的长度长。优选所述搬送辊对的辊的旋转轴中心的位置位于沿着所述搬送方向的方向上所述温度调整装置所处的高度范围的上方或下方。优选所述搬送辊对的至少一部分的搬送辊对以旋转轴中心位于在所述搬送方向上相邻的所述温度调整装置之间的方式配置,越是位于所述搬送方向的下游侧的所述搬送辊对,该搬送辊对的辊与在该辊的上方最接近该辊配置的温度调整装置的沿着所述搬送方向的距离越小。本发明的另一形态是一种玻璃基板制造装置,其特征在于具备使用溢流下拉法将熔融玻璃成形而形成玻璃板的成形装置,所述成形装置包含:多个搬送辊对,在由炉壁包围的空间,沿所述玻璃板的搬送方向隔开间隔地设置,一边夹持所述玻璃板的宽度方向的两侧区域,一边将所述玻璃板朝下方向搬送;分隔构件,将所述空间沿着所述搬送方向间隔成多个空间,并且形成使所述玻璃板通过的狭缝;及温度调整装置,控制以通过所述狭缝的方式被搬送的所述玻璃板的温度,进行所述玻璃板的冷却;且所述温度调整装置设置在与所述玻璃板对向的位置,控制所述被间隔的空间的温度,以控制沿着宽度方向的所述玻璃板的温度;所述分隔构件具有前端部,所述前端部从所述温度调整装置的上方相对于水平方向以面向所述玻璃板的方式向下方倾斜地朝所述玻璃板延伸。[发明效果]根据本发明,能够防止因来自玻璃板的掉落物引起的温度调整装置的损伤。附图说明图1是本实施方式的玻璃板制造方法的流程图。图2是表示玻璃板制造方法中使用的玻璃板制造装置的示意图。图3是成形装置的概略图剖视图。图4是成形装置的概略图侧视图。图5是控制装置的控制框图。图6是将图3的一部分放大表示的图。图7是表示分隔构件的变化例的图。图8是表示分隔构件的变化例的图。图9a及b是说明图8的变化例的动作的图。具体实施方式利用本实施方式的玻璃基板制造方法,例如制造TFTThinFilmTransistor,薄膜晶体管显示器用玻璃基板。玻璃板使用溢流下拉法制造。以下,一边参照附图,一边对本实施方式的玻璃基板制造方法进行说明。1玻璃基板制造方法的概要首先,参照图1及图2,对玻璃基板制造方法中包含的多个步骤及用于多个步骤的玻璃基板制造装置100进行说明。玻璃基板制造方法如图1所示,主要包含熔融步骤S1、澄清步骤S2、成形步骤S3、冷却步骤S4及切断步骤S5。熔融步骤S1是使玻璃原料熔融的步骤。玻璃原料以成为所期望的组成的方式调制之后,被投入到配置在上游的熔融装置11。玻璃原料例如由SiO2、Al2O3、B2O3、CaO、SrO、BaO等组成构成。具体来说,使用应变点成为660℃以上的玻璃原料。玻璃原料在熔融装置11中熔融,成为熔融玻璃FG参照图3及图4。熔融温度根据玻璃的种类进行调整。在本实施方式中,玻璃原料以1500℃~1650℃熔融。熔融玻璃FG通过上游管道23被输送到澄清装置12。澄清步骤S2是将熔融玻璃FG中的气泡去除的步骤。在澄清装置12内去除气泡后的熔融玻璃FG之后通过下游管道24被输送到成形装置40。成形步骤S3是将熔融玻璃FG成形为片状玻璃片材玻璃SG的步骤。具体来说,熔融玻璃FG被连续地供给至成形装置40中包含的成形体41参照图3及图4之后,从成形体41溢流。溢流的熔融玻璃FG沿着成形体41的表面流下。然后,熔融玻璃FG在成形体41的下端部41a参照图3及图4合流而成形为片材玻璃SG。片材玻璃SG具有位于宽度方向之端的侧部耳部、端部、及夹在侧部之间的宽度方向的中央区域。片材玻璃SG的侧部的板厚成形为比中央区域的板厚更厚。片材玻璃SG的中央区域是由固定板厚构成的成为玻璃基板的产品的区域。片材玻璃SG的中央区域的板厚例如成形为0.4mm以下的薄板。此外,片材玻璃SG的宽度方向是与片材玻璃SG流下的方向流动方向、搬送方向及片材玻璃SG的厚度方向正交的方向。冷却步骤S4是在由未图示的炉壁包围的空间,一边利用沿片材玻璃SG的搬送方向设置的下述下拉辊夹持片材玻璃SG的宽度方向的两侧区域,一边将片材玻璃SG朝下方向搬送并进行冷却缓冷的步骤。被下拉辊夹持的区域是位于中央区域与侧部的边界的夹持区域。片材玻璃SG经过冷却步骤S4被冷却为接近室温的温度。此外,玻璃基板的厚度板厚、玻璃基板的翘曲量及玻璃基板的应变量根据冷却步骤S4中的冷却状态而确定。切断步骤S5是将温度接近室温的片材玻璃SG切断为规定大小的步骤。此外,已切断为规定大小的片材玻璃SG之后经过端面加工等步骤而成为玻璃基板。接下来,参照图3~图5,对玻璃基板制造装置100中包含的成形装置40的构成进行说明。2成形装置的构成图3及图4中表示成形装置40的概略构成。图3是成形装置40的剖视图。图4是成形装置40的侧视图。成形装置40具有供片材玻璃SG通过的通路及包围通路的空间。包围通路的空间是由炉壁包围的空间,包括溢流室20、形成室30及冷却室80。溢流室20是将从澄清装置12输送来的熔融玻璃FG成形为片材玻璃SG的空间。熔融玻璃FG沿着成形体41的表面流下,在成形体41的下端部41a合流而成形为片材玻璃SG。形成室30是配置在溢流室20的下方,用来调整片材玻璃SG的厚度及翘曲量的空间。在形成室30中,执行冷却步骤ST4的一部分。片材玻璃SG的温度在比成形体41的下端部41a更靠下游处逐渐降低。冷却室80是配置在溢流室20的下方,用来调整片材玻璃SG的应变量的空间。具体来说,在冷却室80中,已通过形成室30内的片材玻璃SG经过缓冷点、应变点被冷却至室温附近的温度。此外,冷却室80的内部被沿片材玻璃SG的搬送方向隔开间隔地配置的多个分隔构件83划分间隔成多个空间。关于分隔构件83的详情,将在下文进行叙述。另外,成形装置40主要包括成形体41、隔热构件50、冷却辊51、冷却单元60、下拉辊搬送辊81a~81g、加热器温度调整装置82a~82g、分隔构件83及切断装置90。进而,成形装置40具备控制装置500参照图5。控制装置500控制成形装置40中包含的各构成的驱动部。以下,对成形装置40中包含的各构成详细地进行说明。2-1成形体成形体41设置在溢流室20内。成形体41通过使熔融玻璃FG溢流而将熔融玻璃FG成形为片材玻璃SG。如图3所示,成形体41具有截面形状为大致五边形的形状类似于楔形的形状。大致五边形的前端相当于成形体41的下端部41a。另外,成形体41在第1端部具有流入口42参照图4。流入口42与所述下游管道24连接,从澄清装置12流出的熔融玻璃FG从流入口42流入至成形体41。在成形体41形成着槽43。槽43在成形体41的长度方向图4的左右方向上延伸。具体来说,槽43从第1端部延伸至第1端部的相反侧的第2端部。槽43形成为在流入口42附近最深,随着靠近第2端部而逐渐变浅。流入至成形体41的熔融玻璃FG从成形体41的一对顶部41b、41b溢流,并沿着成形体41的一对侧面表面41c、41c流下。然后,熔融玻璃FG在成形体41的下端部41a合流而成为片材玻璃SG。此时,成形体41的下端部41a处的片材玻璃SG的液相温度为1100℃以上,且液相粘度为2.5×105泊以上,更优选液相温度为1160℃以上,且液相粘度为1.2×105泊以上。另外,成形体41的下端部41a处的片材玻璃SG的侧部耳部、端部的粘度小于105.7泊。2-2隔热构件隔热构件50是将从溢流室20向形成室30的热移动阻断的构件。隔热构件50配置在熔融玻璃FG的合流点的附近。另外,如图3所示,隔热构件50配置于在合流点合流的熔融玻璃FG片材玻璃SG的厚度方向两侧。隔热构件50通过将熔融玻璃FG的合流点的上侧环境及下侧环境隔开而将从隔热构件50的上侧向下侧的热移动阻断。2-3冷却辊冷却辊51设置在形成室30内。更具体来说,冷却辊51配置在隔热构件50的正下方。另外,冷却辊51配置在片材玻璃SG的厚度方向两侧、及片材玻璃SG的宽度方向两侧。配置在片材玻璃SG的厚度方向两侧的冷却辊51成对地动作。也就是说,片材玻璃SG的两侧区域中的夹持区域被两对冷却辊51、51、…夹住。冷却辊51通过穿通于内部的空冷管进行空冷。冷却辊51接触于片材玻璃SG的侧部耳部、端部R、L,通过热传导将片材玻璃SG的侧部耳部、端部R、L快速冷却快速冷却步骤。接触于冷却辊51的片材玻璃SG的侧部R、L的粘度为规定值具体来说,109.0泊以上。冷却辊51由冷却辊驱动马达390参照图5旋转驱动。冷却辊51将片材玻璃SG的侧部R、L冷却,同时也具有将片材玻璃SG朝下方下拉的功能。2-4冷却单元冷却单元60是设置在溢流室20内及形成室30内,将片材玻璃SG冷却至缓冷点附近的单元。冷却单元60具有多个冷却元件61~65。在图4中,冷却单元60仅在形成室30内示出。多个冷却元件61~65沿着片材玻璃SG的宽度方向及片材玻璃SG的流动方向配置。具体来说,多个冷却元件61~65中包含中央区域冷却元件61~63与侧部冷却元件64、65。中央区域冷却元件61~63进行空冷,将片材玻璃SG的中央区域CA冷却。此处,所谓片材玻璃SG的中央区域是指片材玻璃SG的宽度方向中央部分,是包含片材玻璃SG的有效宽度及其附近的区域。换句话说,片材玻璃SG的中央区域是位于片材玻璃SG的两侧部两耳部、两端部之间的区域。中央区域冷却元件61~63沿着流动方向配置在与片材玻璃SG的中央区域CA的表面对向的位置。中央区域冷却元件61~63中包含的各单元可独立地进行控制。另外,侧部冷却元件64、65进行水冷,将片材玻璃SG的侧部耳部、端部R、L冷却。侧部冷却元件64、65沿着流动方向配置在与片材玻璃SG的侧部R、L宽度方向的两端部的表面对向的位置。侧部冷却元件64、65中包含的各单元可独立地进行控制。2-5下拉辊下拉辊81a~81g设置在冷却室80内,将已通过形成室30内的片材玻璃SG沿片材玻璃SG的流动方向下拉,进行片材玻璃SG的搬送。下拉辊81a~81g在冷却室80的内部,沿着流动方向隔开间隔地配置。在图3及图4所示的例子中,下拉辊81a~81g配置在由分隔构件83分隔出的每一个空间内。此外,下拉辊81a~81g配置在片材玻璃SG的温度成为缓冷点以下的冷却室80内的区域。片材玻璃SG的温度成为缓冷点以下的区域是指片材玻璃SG的中央区域的温度成为缓冷点以下的区域,指片材玻璃SG经过缓冷点、应变点被冷却至室温附近的温度的区域。缓冷点是粘度成为1013泊时的温度,此处为715.0℃。于图3及图4所示的例子中,片材玻璃SG的温度成为缓冷点的位置处于位于搬送方向的最上游侧的分隔构件83与下拉辊81a的搬送方向之间。下拉辊81a~81g分别进行片材玻璃SG的厚度方向两侧参照图3、及片材玻璃SG的宽度方向两侧参照图4配置。由此,下拉辊81a~81g一边接触于片材玻璃SG的宽度方向的两侧部两耳部、两端部R、L的片材玻璃SG的厚度方向的两侧的表面,一边将片材玻璃SG朝下方下拉。配置在片材玻璃SG的厚度方向两侧的下拉辊81a~81g成对地动作,成对的下拉辊搬送辊对81a、81a、…将片材玻璃SG朝下方向下拉。下拉辊81a~81g由下拉辊驱动马达391参照图5驱动。另外,下拉辊81a~81g分别朝上游侧的部分靠近片材玻璃SG的方向旋转。下拉辊81a~81g的圆周速度是越位于下游侧的下拉辊越大。也就是说,多个下拉辊81a~81g中,下拉辊81a的圆周速度最小,下拉辊81g的圆周速度最大。2-6加热器温度调整装置加热器8282a~82g设置在冷却室80的内部,调整冷却室80的内部空间的温度。具体来说,加热器82a~82g在片材玻璃SG的流动方向及片材玻璃SG的宽度方向上配置多个。在图3及图4所示的例子中,7个加热器82a~82g隔开间隔地配置在片材玻璃SG的流动方向上,且配置在由分隔构件83分隔间隔出的每一个空间内。配置在各空间的加热器例如将7个加热器元件未图示以沿片材玻璃的宽度方向排列的方式配置而构成。配置在各空间的加热器控制被分隔的空间的温度,以控制沿着宽度方向的片材玻璃SG的温度。加热器元件例如由像纯镍等热传导良好的金属构件、或陶瓷材料等构成。加热器元件配置在与片材玻璃SG的两侧区域及两侧区域之间的区域对向的位置。加热器82比下拉辊81a~81g更远离片材玻璃SG地配置。加热器82a~82g由下述控制装置500控制输出。由此,控制通过冷却室80内部的片材玻璃SG附近的环境温度,进行片材玻璃SG的温度控制。由此,以片材玻璃SG的温度沿着搬送方向依次降低的方式,将片材玻璃SG冷却。通过该温度控制,片材玻璃SG从粘性区域经过粘弹性区域向弹性区域推移。在冷却室80中,通过加热器82a~82g的控制,将片材玻璃SG的温度从缓冷点附近的温度冷却至室温附近的温度。加热器元件由控制装置500独立地控制输出,以在片材玻璃SG中实现预先设计的温度曲线的方式,调整片材玻璃SG附近的环境温度。具体来说,温度曲线以片材玻璃SG的温度在宽度方向上变得均匀的方式设计。此处,温度均匀是指至少形成夹持区域及中央区域的宽度方向的温度分布的温度处于相对于夹持区域及中央区域的平均温度为±20℃的范围内。通过以片材玻璃SG的温度在宽度方向上变得均匀的方式冷却,可抑制在片材玻璃SG的夹持区域、及邻接于夹持区域的区域中产生应变。在各加热器82a~82g的附近,例如设置着热电偶380作为检测环境温度的机构。具体来说,在片材玻璃SG的流动方向及片材玻璃SG的宽度方向上隔开间隔地配置着多个热电偶380。热电偶380分别检测片材玻璃SG的中心部C的温度与片材玻璃SG的侧部R、L的温度。加热器82a~82g的输出基于热电偶380所检测出的环境温度进行控制。2-7分隔构件分隔构件83是板状的隔热构件。分隔构件83将冷却室80沿着片材玻璃SG的搬送方向间隔成多个空间,并且形成使片材玻璃SG通过的狭缝S。在图3所示的例子中,狭缝S是配置在片材玻璃SG的板厚方向的两侧且形成在相互面对的两个分隔构件83之间的间隙。狭缝S沿着片材玻璃SG的宽度方向延伸。分隔构件83至少在加热器82与片材玻璃SG的水平方向间延伸,至少在加热器82与片材玻璃SG之间,将从分隔构件83的上方空间向下方空间的热移动阻断。由于从上方空间向下方空间的热移动在片材玻璃SG的周围特别大,由此可恰当地进行基于温度曲线的片材玻璃SG的温度控制。分隔构件83具有前端部83a,该前端部83a从加热器82的上方以其上表面面向片材玻璃SG的方式相对于水平方向倾斜地朝片材玻璃SG延伸。片材玻璃SG有时会在搬送途中产生裂纹,而从片材玻璃SG掉落玻璃片或玻璃屑。片材玻璃SG的裂纹例如有时因如下原因而产生,即,因沿着片材玻璃SG的两侧表面上升的气流的变化等而导致片材玻璃SG以挠曲的方式变形,并与分隔构件83接触而使片材玻璃SG上所产生的划痕加深。另外,例如,有时因下拉辊81a~81g产生磨损而夹持片材玻璃SG的位置发生变化而产生。在本实施方式中,由于分隔构件83的前端部83a从加热器82的上方朝向片材玻璃SG朝下方延伸,以遮蔽加热器82使其免受掉落物影响的方式配置,所以可防止玻璃片等掉落物直接与加热器82碰撞或与前端部83a碰撞弹起而接触于加热器82。因此,可防止加热器82的损伤。另外,通过前端部83a的上表面以面向片材玻璃SG的方式相对于水平方向倾斜,掉落到前端部83a上的掉落物可沿着前端部83a的上表面滑落。因此,可防止掉落物残留并堆积在前端部83a。由此,例如可防止来自加热器82的辐射热被堆积的掉落物遮蔽而无法恰当地进行片材玻璃SG的温度控制。也就是说,根据本实施方式,通过分隔构件83的分隔功能,可恰当地进行基于加热器82的温度控制,并且当片材玻璃SG产生裂纹时,可保护加热器82使它免受掉落物破坏,并防止掉落物堆积在分隔构件83。前端部83a的倾斜角度优选相对于水平方向朝前端部83a的上表面面向片材玻璃SG的一侧为20~50°,例如为30~40°。如果倾斜角度小于20°,则存在掉落物在前端部83a上难以滑落而堆积的情况。如果倾斜角度超过50°,则存在来自加热器82的辐射热被前端部83a遮蔽而无法恰当地进行片材玻璃SG的温度控制的情况。此外,沿着片材玻璃SG的厚度方向图3的左右方向的前端部83a的倾斜角度在图3所示的例子中为固定,但也可在朝向片材玻璃SG延伸的途中变化,例如,前端部83a也可为从与前端部83a的延伸方向从离开片材玻璃SG一侧朝向接近片材玻璃SG一侧的方向及厚度方向正交的方向观察时弯曲或弯折。图6中放大表示图3的成形装置的一部分。如图6所示,前端部83a的延伸方向的长度L1优选大于加热器82与片材玻璃SG的水平方向的间隔L2的50%。如果前端部83a的延伸方向的长度L1为加热器82与片材玻璃SG的水平方向的间隔L2的50%以下的长度,则存在如下情况:无法充分保护加热器82使它免受掉落物破坏,另外,利用分隔构件83无法将热移动充分阻断,而分隔功能降低。另一方面,前端部83a的所述长度L1优选比间隔L3小,该间隔L3是与片材玻璃SG相面对的加热器82之端中的上端和位于该上端的下方的下拉辊中与该加热器82最接近地配置的下拉辊例如,与加热器82e的上端的下方最接近地配置的下拉辊81e之间的间隔。由于前端部83a反射来自片材玻璃SG的辐射热,所以,如果前端部83a的所述长度L1为所述间隔L3以上的长度,则有在前端部83a的上方与该前端部83a最接近配置的下拉辊例如,在图6所示的两个分隔构件83中下方的分隔构件83的前端部83a的上方与该前端部83a最接近配置的下拉辊81e被加热而产生损伤的情况。在各分隔构件83中,与片材玻璃SG最接近地配置的前端部83a之端的位置前端位置优选如图6所示那样位于加热器82所处的搬送方向的范围高度范围内。换句话说,前端部83a的前端优选位于加热器82的前方从加热器82沿着水平方向朝向片材玻璃SG的一侧。通过像这样前端部83a的前端位置位于加热器82的前方,而保护加热器82使它免受掉落物破坏的功能增强。分隔构件83优选像图3所示的例子那样,还具有后端部83b,该后端部83b与前端部83a连接,且以远离片材玻璃SG的方式延伸。后端部83b具有在加热器82的上方将加热器82相对于搬送方向的上游侧的空间分隔开的功能。通过分隔构件83具有后端部83b,所述分隔功能增强。在图3所示的例子中,后端部83b在水平方向上延伸,但也可相对于水平方向,以后端部83b的上表面面向片材玻璃SG的方式相对于水平方向倾斜。在该情况下,前端部83a及后端部83b的倾斜角度也可相等参照图8。另外,分隔构件83也可不具有后端部。在图4所示的例子中,前端部83a是以与片材玻璃SG的宽度方向的两侧区域及两侧区域之间的区域中央区域相面对的方式,沿片材玻璃SG的宽度方向延伸。在该情况下,前端部83a的倾斜角度优选在与两侧区域相面对的部分,比与中央区域相面对的部分小。原因在于,如果掉落到与片材玻璃SG的两侧区域相面对的前端部83a的部分的玻璃屑等滑落,则有时会附着在下方的下拉辊81a~81g的表面,使片材玻璃SG产生划痕,该划痕成为裂纹的起点。根据与这个相同的理由,前端部83a的延伸方向的长度也优选在与片材玻璃SG的宽度方向的两侧区域相面对的前端部83a的部分,比与中央区域相面对的前端部83a的部分短。图7及图8中表示分隔构件的变化例。图7是表示分隔构件83的变化例的图。图8是表示分隔构件83的另一变化例的图。分隔构件83也可像图7所示的变化例那样,以前端部83a相对于后端部83b旋动的方式构成。在该变化例中,前端部83a通过铰链与后端部83b连结,可像图7的虚线所示的那样旋动。在图7所示的变化例中,仅前端部83a相对于水平方向倾斜,因此,与分隔构件83的整体旋动而倾斜的情况相比,容易增大相对于水平方向的倾斜角度。另外,分隔构件83也可像图8所示的变化例那样,以它的整体相对于炉壁旋动的方式构成。炉壁是包围溢流室20、形成室30及冷却室80且由隔热构件构成的构造体。图8所示的变化例是所述前端部83a及后端部83b的倾斜角度相等的例子。在该变化例中,以距离片材玻璃SG最远的后端部83b之端后端绕设置于炉壁的旋转轴旋动的方式构成分隔构件83。分隔构件83可如图8中虚线所示的那样旋动。如果前端部83a位于加热器82的前方,则根据它的倾斜角度,来自加热器82的热的放射会被遮蔽。于所述说明的变化例中,使用分隔构件83,在操作中使前端部83a或分隔构件83的整体旋动,而以前端部83a的上表面沿水平方向延伸或相对于水平方向的倾斜角度变小的方式旋动。由此,可调节从加热器82放射的热量而调整片材玻璃SG的温度。另外,在片材玻璃SG破裂而掉落的玻璃片等存在于前端部83a上的情况下,例如,可使用所述说明的变化例的分隔构件83,在操作中,从图7及图8中实线所示的状态起,使前端部83a或分隔构件83的整体旋动而增大倾斜角度。由此,可使存在于前端部83a上的玻璃片等滑动而朝下方落下。这种倾斜角度的变更可使用如下方法而手动或自动地进行,该方法是例如使由弹簧或汽缸产生的机械力作用于前端部83a或分隔构件83。图9a及图9b是说明使用具备汽缸71的驱动装置70使图8所示的分隔构件83的变化例旋动的例子的图。具体来说,驱动装置70具备汽缸71、及相对于汽缸71往返移动的轴72。汽缸71以相对于炉壁旋动的方式设置。轴72连接于分隔构件83。在该变化例中,通过轴72相对于汽缸71移动,而分隔构件83的倾斜角度发生变化。例如,分隔构件83在图9a所示的沿水平方向延伸的状态与图9b所示的相对于水平方向倾斜的状态之间旋动。用来使前端部83a或分隔构件83旋动的工作方式并不限制于图9所示的例子,根据炉内的构造或设置分隔构件83的炉内的温度而适当选择。所述说明的分隔构件83的变化例能够以去除玻璃片等为目的而适当采用。根据一实施方式,优选多个分隔构件83中,上游侧的分隔构件83的前端部83a第1前端部的延伸方向的长度比下游侧的分隔构件83的前端部83a第2前端部的延伸方向的长度长。来自加热器82的辐射热的热量是越位于上游侧的加热器82越大,所以,优选增加第1前端部83a的延伸方向的长度来提高分隔构件83的分隔功能。在该情况下,优选分隔构件83的延伸方向的长度从上游侧到下游侧连续地或阶段性地变短。另外,根据一实施方式,优选在多个分隔构件83中,上游侧的分隔构件83的前端部83a第1前端部的相对于水平方向的倾斜角度比下游侧的分隔构件83的前端部83a第2前端部的相对于水平方向的倾斜角度小。如上所述,来自加热器82的辐射热的热量是越位于上游侧的加热器82越大,所以,优选减小第1前端部83a的倾斜角度,使因来自加热器82的辐射热被遮蔽所产生的对片材玻璃SG的温度调整的影响减小。在该情况下,优选分隔构件83的倾斜角度从上游侧到下游侧连续地或阶段性地变大。下拉辊81a~81g的旋转轴中心O的位置优选如图3所示,位于沿着搬送方向的方向上加热器82所处的高度范围H参照图6的上方或下方。例如,下拉辊81a的旋转轴中心O的位置位于加热器82a的下端的下方且加热器82b的上端的上方。这样一来,下拉辊81a~81g的旋转轴中心O的位置与加热器82所处的高度范围H在搬送方向上不重叠偏离,由此来自加热器82的辐射热不易被下拉辊81a~81g遮蔽,可抑制在片材玻璃SG的两侧区域温度降低。因此,能够有效地实现片材玻璃SG中宽度方向上均匀的温度分布。在此情况下,优选下拉辊81a~81f的旋转轴中心O的位置与接近搬送方向的上方及下方配置的两个加热器82中接近上方配置的加热器82的间隔比与接近下方配置的加热器82的间隔长。片材玻璃SG以沿着搬送方向温度依次降低的方式被冷却,因此,以位于越靠上游侧的加热器82,辐射热变得越大的方式被控制。下拉辊81a~81f与下方的加热器82被分隔构件83分隔,因此,即便下拉辊81a~81f与下方的加热器82的距离比下拉辊81a~81f与上方的加热器82的距离短,也能抑制下拉辊81a~81f从加热器82接收的热量。由此,能够抑制下拉辊81a~81f被加热器82过度加热。2-8切断装置切断装置90将在冷却室80内冷却至室温附近的温度的片材玻璃SG切断成规定的尺寸。切断装置90以规定的时间间隔将片材玻璃SG切断。由此,片材玻璃SG成为多个玻璃板。切断装置90由切断装置驱动马达392参照图5驱动。2-9控制装置控制装置500包括CPUCentralProcessingUnit,中央处理器、RAMRandomAccessMemory,随机存取存储器、ROMReadOnlyMemory,只读存储器及硬盘等,进行玻璃基板制造装置100中包含的各种设备的控制。图5是表示一实施方式的控制装置500的构成的一例的框图。具体来说,如图5所示,控制装置500接收玻璃基板制造装置100中包含的各种传感器例如,热电偶380或开关例如,主电源开关381等的信号,进行冷却单元60、加热器82a~82g、冷却辊驱动马达390、下拉辊驱动马达391、切断装置驱动马达392等的控制。根据本实施方式,通过分隔构件83的分隔功能,可恰当地进行基于加热器82的温度控制,并且当片材玻璃SG产生裂纹时,可保护加热器82免受掉落物破坏,并防止掉落物堆积在分隔构件83。以上,根据附图对本实施方式进行了说明,但具体构成并不限于所述实施方式,可在不脱离发明主旨的范围内进行变更。例如,下拉辊81a~81g可沿搬送方向等间隔地配置,也可沿搬送方向以不同的间隔配置。例如,在搬送方向上相邻的下拉辊81a~81g的间隔也可以是越为下游侧的间隔越大。另外,下拉辊81a~81g也可不配置在由分隔构件83分隔出的每一个空间内。[符号的说明]11:溶解装置12:澄清装置40:成形装置41:成形体51:冷却辊60:冷却单元81a~81g:下拉辊82a~82g:加热器温度调整装置83:分隔构件83a:前端部83b:后端部90:切断装置100:玻璃基板制造装置500:控制装置

权利要求:1.一种玻璃基板制造方法,其特征在于包含:成形步骤,使用溢流下拉法将熔融玻璃成形而形成玻璃板;及冷却步骤,在由炉壁包围的空间,一边利用沿所述玻璃板的搬送方向设置的多个搬送辊对夹持所述玻璃板的宽度方向的两侧区域,一边将所述玻璃板朝下方向搬送并进行冷却;在所述空间,设置有分隔构件,所述分隔构件沿着所述搬送方向将所述空间间隔成多个空间,并且形成使所述玻璃板通过的狭缝,在所述冷却步骤中,一边以通过所述狭缝的方式搬送所述玻璃板,一边使用控制所述玻璃板的温度的温度调整装置,进行所述玻璃板的冷却,所述温度调整装置设置在与所述玻璃板对向的位置,控制所述被间隔的空间的温度,以控制沿着宽度方向的所述玻璃板的温度,且所述分隔构件具有前端部,所述前端部从所述温度调整装置的上方以面向所述玻璃板的方式相对于水平方向朝下方倾斜地向所述玻璃板延伸。2.根据权利要求1所述的玻璃基板制造方法,其中所述分隔构件还具有后端部,所述后端部与所述前端部连接且以远离所述玻璃板的方式延伸,且在所述温度调整装置的上方,将所述温度调整装置相对于所述搬送方向的上游侧的空间分隔开。3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板制造方法,其中所述前端部是以与所述玻璃板的宽度方向的两侧区域及所述两侧区域之间的区域相面对的方式,沿所述玻璃板的宽度方向延伸,且所述前端部的倾斜角度在与所述两侧区域相面对的所述前端部的部分,比与所述两侧区域之间的区域相面对的所述前端部的部分小。4.根据权利要求1至3中任一项所述的玻璃基板制造方法,其中当将所述温度调整装置称为第1温度调整装置,将所述分隔构件称为第1分隔构件,将所述前端部称为第1前端部时,在所述冷却步骤中,使用沿着所述玻璃板的搬送方向设置且至少包含所述第1温度调整装置、及配置在所述第1温度调整装置的下方的第2温度调整装置的温度调整装置列,以所述玻璃板的温度沿搬送方向依次降低的方式进行所述玻璃板的冷却,所述第2温度调整装置通过至少在所述第2温度调整装置与所述玻璃板之水平方向间延伸的第2分隔构件,相对于所述搬送方向的上游侧的空间分隔开,所述第2分隔构件具有第2前端部,所述第2前端部从所述第2温度调整装置的上方以面向所述玻璃板的方式相对于水平方向倾斜地朝所述玻璃板延伸,且所述第1前端部的延伸方向的长度比所述第2前端部的延伸方向的长度长。5.根据权利要求1至4中任一项所述的玻璃基板制造方法,其中所述搬送辊对的辊的旋转轴中心的位置位于沿着所述搬送方向的方向上所述温度调整装置所处的高度范围的上方或下方。6.根据权利要求5所述的玻璃基板制造方法,其中所述搬送辊对的至少一部分的搬送辊对以旋转轴中心位于在所述搬送方向上相邻的所述温度调整装置之间的方式配置,越是位于所述搬送方向的下游侧的所述搬送辊对,该搬送辊对的辊与在该辊的上方最接近该辊配置的温度调整装置的沿着所述搬送方向的距离越小。7.一种玻璃基板制造装置,其特征在于具备使用溢流下拉法将熔融玻璃成形而形成玻璃板的成形装置,所述成形装置包含:多个搬送辊对,在由炉壁包围的空间,沿所述玻璃板的搬送方向隔开间隔地设置,一边夹持所述玻璃板的宽度方向的两侧区域,一边将所述玻璃板朝下方向搬送;分隔构件,将所述空间沿着所述搬送方向间隔成多个空间,并且形成使所述玻璃板通过的狭缝;及温度调整装置,控制以通过所述狭缝的方式被搬送的所述玻璃板的温度,进行所述玻璃板的冷却;且所述温度调整装置设置在与所述玻璃板对向的位置,控制所述被间隔的空间的温度,以控制沿着宽度方向的所述玻璃板的温度;所述分隔构件具有前端部,所述前端部从所述温度调整装置的上方相对于水平方向以面向所述玻璃板的方式向下方倾斜地朝所述玻璃板延伸。

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