买专利,只认龙图腾
首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

【实用新型】具有晶圆放置方向检测装置的晶圆贴膜机_河南通用智能装备有限公司_202121222814.1 

申请/专利权人:河南通用智能装备有限公司

申请日:2021-06-02

公开(公告)日:2021-11-23

公开(公告)号:CN214848512U

主分类号:H01L21/67(20060101)

分类号:H01L21/67(20060101);H01L21/66(20060101);H01L21/683(20060101);H01L21/677(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.11.23#授权

摘要:本实用新型公开了具有晶圆放置方向检测装置的晶圆贴膜机,涉及圆晶生产技术领域,具体为具有晶圆放置方向检测装置的晶圆贴膜机,包括检测台,检测台的上表面设有检测孔,检测孔内设有位置方向检测板,方向检测板内设有光敏电阻,检测台上表面的一端连接有支撑立杆,支撑立杆顶部的侧面连接有支撑梁,支撑梁一端的下表面固定连接有滑动安装箱。该具有晶圆放置方向检测装置的晶圆贴膜机,通过检测孔、方向检测板、光敏电阻和光源槽的配合设置,在使用的过程中能够对圆晶的放置方向进行检测,并对方向不正确的圆晶方向进行矫正,保证贴膜的效果,避免因方向不正导致贴膜异常,并且无需人力的介入,使得贴膜的过程更加的高效。

主权项:1.具有晶圆放置方向检测装置的晶圆贴膜机,包括检测台1,其特征在于:所述检测台1的上表面设有检测孔2,所述检测孔2内设有位置方向检测板3,所述方向检测板3内设有光敏电阻4,所述检测台1上表面的一端固定连接有支撑立杆5,所述支撑立杆5顶部的侧面固定连接有支撑梁6,所述支撑梁6一端的下表面固定连接有滑动安装箱7,所述滑动安装箱7的底部滑动连接有滑动安装块8,所述滑动安装块8的底部固定连接有电动伸缩杆9,所述电动伸缩杆9的另一端固定连接有抓取臂10,所述检测台1的底部固定连接有支撑立板11,所述支撑立板11上转动连接有两个安装轴12,所述支撑立板11的侧车门位于两个安装轴12之间固定连接有安装板13,所述安装板13上固定连接有贴膜机构14。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 河南通用智能装备有限公司 具有晶圆放置方向检测装置的晶圆贴膜机

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

相关技术
相关技术
相关技术
相关技术