申请/专利权人：苏州微邦电子有限公司

申请日：2021-09-01

公开（公告）日：2022-01-14

公开（公告）号：CN215511753U

主分类号：B28D5/00(20060101)

分类号：B28D5/00(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.01.14#授权

摘要：本实用新型涉及半导体技术领域的晶圆级白光芯片的切割装置，包括机柜，所述机柜的前表面设置有机柜门，所述机柜的顶端设置有切割室，所述切割室的前表面设置有观察窗，所述切割室的前表面底端转动连接有滚珠丝杆，所述滚珠丝杆的外表面一端套接有第一连接环，所述滚珠丝杆的另一端套接有第二连接环。通过设计的安装在切割室前表面的滚珠丝杆、清洁杆、套环、第二连接环和转动把手便于对观察窗上的灰尘进行清洁，防止切割后的灰尘长时间吸附在观察窗的表面而影响工作人员对切割室内部的工作情况进行观察，此清洁方式简单方便，不需要外置的清洁工具，需要观察时可随时使用，大大的提高了该装置的切割质量。

主权项：1.晶圆级白光芯片的切割装置，包括机柜（1），所述机柜（1）的前表面设置有机柜门（6），所述机柜（1）的顶端设置有切割室（2），所述切割室（2）的前表面设置有观察窗（3），其特征在于：所述切割室（2）的前表面底端转动连接有滚珠丝杆（4），所述滚珠丝杆（4）的外表面一端套接有第一连接环（10），所述滚珠丝杆（4）的另一端套接有第二连接环（12），所述滚珠丝杆（4）的外表面一端远离第一连接环（10）的位置处套接有套环（11），所述套环（11）的顶端固定连接有清洁杆（5），所述清洁杆（5）的后表面通过热熔的方式固定有毛刷（14），所述毛刷（14）的后表面顶端固定连接有滑块（15），所述切割室（2）的前表面顶端开设有滑槽（9），所述滑块（15）可在滑槽（9）上进行滑动。

全文数据：

权利要求：

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