申请/专利权人：威科赛乐微电子股份有限公司

申请日：2021-06-11

公开（公告）日：2022-01-14

公开（公告）号：CN215524516U

主分类号：G01B11/08(20060101)

分类号：G01B11/08(20060101);G01B11/24(20060101);G01B11/02(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.01.14#授权

摘要：本实用新型涉及晶片制造技术领域，公开了一种光影法晶片尺寸测量仪，包括底座，所述底座上固定连接有支撑轴和分析系统，所述支撑轴上固定连接有第一支撑架和第二支撑架，所述第一支撑架上固定连接有发光台面，所述发光台面内设置有发光源，所述第二支撑架上固定连接有光影接收板，所述光影接收板与发光台面平行设置，所述光影接收板靠近发光台面的一侧设置有像素板；所述分析系统包括分析箱，所述分析箱固定安装在底座上，所述分析箱内设置有中央处理器，所述中央处理器与像素板和发光源均电连接，所述中央处理器还电连接有电子显示板，所述电子显示板固定安装在分析箱上。本实用新型能够快速、精确的对晶片的外圆尺寸和大边长度进行测量。

主权项：1.一种光影法晶片尺寸测量仪，其特征在于：包括底座，所述底座上固定连接有支撑轴和分析系统，所述支撑轴上固定连接有第一支撑架和第二支撑架，所述第一支撑架上固定连接有发光台面，所述发光台面内设置有发光源，所述第二支撑架上固定连接有光影接收板，所述光影接收板与发光台面平行设置，所述光影接收板靠近发光台面的一侧设置有像素板；所述分析系统包括分析箱，所述分析箱固定安装在底座上，所述分析箱内设置有中央处理器，所述中央处理器与像素板和发光源均电连接，所述中央处理器还电连接有电子显示板，所述电子显示板固定安装在分析箱上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 威科赛乐微电子股份有限公司 一种光影法晶片尺寸测量仪

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