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【发明公布】一种移动式高频光电导载流子寿命测试探头_广州昆德半导体测试技术有限公司;广州市昆德科技有限公司_202011593090.1 

申请/专利权人:广州昆德半导体测试技术有限公司;广州市昆德科技有限公司

申请日:2020-12-29

公开(公告)日:2022-01-21

公开(公告)号:CN113960385A

主分类号:G01R31/00(20060101)

分类号:G01R31/00(20060101)

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2022.02.15#实质审查的生效;2022.01.21#公开

摘要:本发明公开一种移动式高频光电导载流子寿命测试探头,包括:罩体、屏蔽盒、高频源、检波器、激光器光纤、第一弹性电极、第一微动开关、电极固定板、连接板、红外透镜;高频源、检波器设于屏蔽盒内部;高频源向测试单晶输送高频电流,检波器在高频电流中解调单晶电导率的变化过程,得到光电导衰退信号;激光器光纤一端穿过光纤固定口,另一端延伸至光纤光源出口,与红外透镜的镜面相贴;第一弹性电极穿过电极固定板、绝缘底座,第一弹性电极首端与第一微动开关配合连接,末端高出绝缘底座;当探头压在单晶测量面时,第一弹性电极上升使第一微动开关接通高频源的电源。本发明可离开主机在大直径单晶各处测量,提高了测试速度和准确度。

主权项:1.一种移动式高频光电导载流子寿命测试探头,其特征在于,包括:罩体、高频源、检波器、激光器光纤、第一弹性电极、第二弹性电极、第一微动开关、电极固定板、连接板和红外透镜;所述连接板设于罩体一侧,所述电极固定板与罩体底部固定连接,用于固定第一弹性电极和第二弹性电极,所述罩体底部设有绝缘底座;所述高频源用于向测试单晶输送高频电流,所述检波器用于在高频电流中解调单晶电导率的变化过程,得到光电导衰退信号;所述连接板设有光纤固定口,所述绝缘底座设有光纤光源出口,所述红外透镜设于光纤光源出口;所述激光器光纤一端穿过光纤固定口,与主机面板上的激光器耦合,另一端延伸至光纤光源出口,与红外透镜的镜面相贴;所述第一弹性电极、第二弹性电极均与高频源连接,所述第一弹性电极、第二弹性电极均穿过电极固定板、绝缘底座;所述第一弹性电极的首端与第一微动开关配合连接,所述第一弹性电极和第二弹性电极的末端高出绝缘底座;所述第一微动开关用于控制高频源的电源,当探头压在单晶测量面时,第一弹性电极上升使第一微动开关接通高频源的电源。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 广州昆德半导体测试技术有限公司;广州市昆德科技有限公司 一种移动式高频光电导载流子寿命测试探头

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