申请/专利权人：徐立红

申请日：2021-10-19

公开（公告）日：2022-01-21

公开（公告）号：CN113953245A

主分类号：B08B3/02(20060101)

分类号：B08B3/02(20060101);B08B1/02(20060101);B08B13/00(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的撤回

法律状态：2022.05.31#发明专利申请公布后的撤回;2022.02.15#实质审查的生效;2022.01.21#公开

摘要：本发明公开了一种半导体产品承载治具及半导体产品加工清洗装置，属于半导体技术领域。一种半导体产品承载治具，包括下盒盖、上盒盖，所述下盒盖与上盒盖通过铰链转动相连，还包括：凹槽，开设在所述下盒盖上表面；多组放置槽，开设在所述凹槽上；中空管、转轴，分别贯穿转动连接在所述放置槽内；本发明通过下盒盖对待清洗的硅片进行统一存放，方便对多个硅片进行清洗，且通过中空管、转轴、毛刷辊的旋转，能够有效的对硅片进行清洗，提高清洗效果和效率，同时当清洗完成后，进行硅片下道工序的转移时，下盒盖与上盒盖还能对转移过程中的硅片提高保护，防止损坏，提高了实用性。

主权项：1.一种半导体产品承载治具，包括下盒盖1、上盒盖2，所述下盒盖1与上盒盖2通过铰链转动相连，其特征在于，还包括：凹槽10，开设在所述下盒盖1上表面；多组放置槽101，开设在所述凹槽10上；中空管104、转轴105，分别贯穿转动连接在所述放置槽101内，所述中空管104、转轴105的一端通过皮带1053相连；第一叶轮片1041，固定连接在所述中空管104另一端；喷水孔1042开设在中空管104上，所述喷水孔1042与放置槽101相对应；两组水道102，分别贯穿开设在所述下盒盖1、上盒盖2一侧，其中，所述第一叶轮片1041位于所述下盒盖1的水道102内；两组水管103，分别固定连接在两组所述水道102的一侧；两组支管1031，一组固定连接在所述下盒盖1的水管103上，另一组连接在所述上盒盖2的水管103上，其中，所述下盒盖1的支管1031一端贯穿转动连接在所述中空管104内；所述上盒盖2上固定连接有多组防护格201，所述防护格201与放置槽101相对应；所述上盒盖2内转动连接有毛刷辊202，所述毛刷辊202上的毛刷位于防护格201内，所述毛刷辊202一端贯穿在水道102内，所述毛刷辊202一端固定连接有第二叶轮片1043，所述第二叶轮片1043位于上盒盖2的水道102内；所述毛刷辊202呈中空状，所述毛刷辊202上开设有出水孔2021，所述出水孔2021位于防护格201内，所述上盒盖2的支管1031一端贯穿转动连接在毛刷辊202的一端内。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 徐立红 一种半导体产品承载治具及半导体产品加工清洗装置

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