申请/专利权人：成都中建材光电材料有限公司

申请日：2021-11-24

公开（公告）日：2022-03-04

公开（公告）号：CN114134465A

主分类号：C23C14/24(20060101)

分类号：C23C14/24(20060101);C23C14/56(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.03.22#实质审查的生效;2022.03.04#公开

摘要：本发明公开了一种提高光伏组件用蒸镀设备稼动率的方法和装置，该方法是在蒸镀设备的各个腔室之间设置隔离装置，通过隔离装置的开启和关闭来实现蒸镀设备各个腔室之间的连通和隔离。所述隔离装置包括密封固定在蒸镀腔室内的隔离板，隔离板上开有供基材传输的传输口，传输口上设置有可移动的隔离门来实现传输口的开闭。本发明可以单独对故障的腔室区域进行降温破空处理，避免其他未发生故障或异常的区域在降温破空后与含有水汽的空气环境接触，避免这些区域再次抽空与升温的过程中额外浪费时间，可有效降低整体设备的维保及故障处理时间，提高整台设备的稼动率。

主权项：1.一种提高光伏组件用蒸镀设备稼动率的方法，其特征在于：在蒸镀设备的各个腔室之间设置隔离装置，通过隔离装置的开启和关闭来实现蒸镀设备各个腔室之间的连通和隔离。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 成都中建材光电材料有限公司 一种提高光伏组件用蒸镀设备稼动率的方法和装置

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