申请/专利权人：山东华楷微电子装备有限公司

申请日：2021-12-14

公开（公告）日：2022-05-31

公开（公告）号：CN216647170U

主分类号：G05B23/02

分类号：G05B23/02;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.05.31#授权

摘要：本实用新型公开了一种半导体生产用MFC校验装置，该校验装置包括壳体，壳体上设置有进气管接口和出气管接口，壳体内标准MFC与进气管接口和出气管接口相连通，进气管接口和标准MFC之间安装有控制阀，壳体内安装有电源模块、标准调压器、标准设定电压显示仪和标准反馈电压显示仪表，标准电调压器的输出端和标准反馈电压显示仪表通过第一标准接口与标准MFC连接，壳体内还安装有检测调压器、检测设定电压显示仪和检测反馈电压显示仪表，标准调压器和检测调压器与电源模块的正负输出端连接，检测调压器的输出端和检测反馈电压显示仪表均连接第二标准接口，该检验装置可以快速对待检验的MFC进行校准并且检测简单，方便。

主权项：1.一种半导体生产用MFC校验装置，其特征在于：该校验装置包括壳体，所述壳体上设置有进气管接口和出气管接口，所述壳体内安装有与进气管接口和出气管接口相连通的已出厂标定的标准MFC本体，所述进气管接口和标准MFC本体之间安装有控制阀，所述壳体内安装有电源模块、标准调压器、标准设定电压显示仪和标准反馈电压显示仪表，所述标准调压器与电源模块的正负输出端连接，所述标准电调压器的输出端和所述标准反馈电压显示仪表通过第一标准接口与标准MFC本体连接，所述标准设定电压显示仪与标准调压器的输出端电连接，所述壳体内还安装有检测调压器、检测设定电压显示仪和检测反馈电压显示仪表，所述检测调压器与电源模块的正负输出端连接，所述检测调压器的输出端和所述检测反馈电压显示仪表均连接第二标准接口，该第二标准接口固定在壳体的侧壁并且露出，所述检测设定电压显示仪与检测调压器的输出端电连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 山东华楷微电子装备有限公司 一种半导体生产用MFC校验装置

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