申请/专利权人:上海华力集成电路制造有限公司
申请日:2022-03-11
公开(公告)日:2022-06-10
公开(公告)号:CN114609500A
主分类号:G01R31/26
分类号:G01R31/26;G01R31/28
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2022.06.28#实质审查的生效;2022.06.10#公开
摘要:本发明提供一种辅助WAT生产监控的方法,持续获取多个WAT机台的测试信息、机台状态以及置于WAT机台中晶圆的lot信息;将多个WAT机台的测试信息、机台状态以及置于WAT机台中的lot信息整合至显示界面,显示界面用于显示每个WAT机台对应的测试信息、机台状态以及lot信息;根据显示界面筛选出符合设置条件的WAT机台中的lot信息。本发明的方法可监控WAT机台测试lot状态,帮助判断待测lot测试顺序,提高了监控效率。
主权项:1.一种辅助WAT生产监控的方法,其特征在于,至少包括:步骤一、持续获取多个WAT机台的测试信息、机台状态以及置于所述WAT机台中晶圆的lot信息;步骤二、将多个所述WAT机台的所述测试信息、所述机台状态以及置于所述WAT机台中的所述lot信息整合至显示界面,所述显示界面用于显示每个所述WAT机台对应的所述测试信息、所述机台状态以及所述lot信息;步骤三、根据所述显示界面筛选出符合设置条件的所述WAT机台中的所述lot信息。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 上海华力集成电路制造有限公司 辅助WAT生产监控的方法及装置
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