申请/专利权人：上海华力集成电路制造有限公司

申请日：2020-02-03

公开（公告）日：2022-06-14

公开（公告）号：CN111257605B

主分类号：G01R1/073

分类号：G01R1/073;B08B13/00;G01R31/26

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.06.14#授权;2020.07.03#实质审查的生效;2020.06.09#公开

摘要：本发明公开了一种WAT测试机台，包括WAT自动参数测试仪和自动探针台，WAT自动参数测试仪的测试头设置在自动探针台测试机台柜的顶部，测试机台柜内设有用于承载被测试晶圆的承载盘，晶圆装载柜与测试机台柜相邻；第一风源，其形成在所述测试头顶部；第二风源，其形成在所述顶部；第三风源，其形成在所述测试机台柜左侧壁；第四风源，其形成在所述晶圆装载柜右侧壁；其中，所述测试头中心设有第一风道，测试机台柜右侧壁和探针卡装载柜左侧壁密闭相邻且其间形成有第二风道。本发明克服了WAT测试机台现有技术方案带来的弊端，有效提高了晶圆的测试洁净度。

主权项：1.一种WAT测试机台，包括：WAT自动参数测试仪和自动探针台，WAT自动参数测试仪的测试头设置在自动探针台测试机台柜的顶部，测试机台柜内设有用于承载被测试晶圆的承载盘，晶圆装载柜与测试机台柜相邻；其使用探针卡由多个结构相同的探针单元连接固定在探针卡支架上形成，所述探针单元包括环形PCB基板，内置引线的支撑架固定在所述PCB基板内环，探针固定在所述支撑架上，其特征在于：第一风源，其形成在所述测试头顶部；第二风源，其形成在所述晶圆装载柜顶部；第三风源，其形成在所述测试机台柜左侧壁；第四风源，其形成在所述晶圆装载柜右侧壁内侧，其自所述晶圆装载柜向外抽风；其中，所述测试头中心设有第一风道，测试机台柜右侧壁和晶圆装载柜左侧壁密闭相邻且其间形成有第二风道。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海华力集成电路制造有限公司 探针卡及WAT测试机台

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