【发明公布】一种提升减薄机稼动率的新型工艺_中环领先半导体材料有限公司_202210147522.9 

申请/专利权人:中环领先半导体材料有限公司

申请日:2022-02-17

公开(公告)日:2022-06-17

公开(公告)号:CN114639601A

主分类号:H01L21/304

分类号:H01L21/304;H01L21/687;H01L21/02;H01L21/67

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2022.06.17#公开

摘要:本发明公开了一种提升减薄机稼动率的新型工艺,其新型工艺包括以下步骤:S1、首先将硅片放置到片篮内部进行实时储存,并且将存放好硅片的片篮放置在载台上,通过启动控制片叉机械手去进行取片,片叉机械手取片后将片子放置在定心台,将定心台上的硅片通过相机进行拍照检测后,通过搬运机械手将片子搬到研磨台上进行研磨;S2、然后研磨结束通过搬运机械手将片子搬运到甩干台上,将其中搬运机械手的旋转轴速度进行实时提高,将片叉机械手的取片速度进行实时提高。本发明通过采用新的工艺参数,在不影响制程能力的情况下,使得单机产能大幅提升20%,使得每四台机可节省一台设备采购资金,大大降低了工厂人机比。

主权项:1.一种提升减薄机稼动率的新型工艺,其特征在于:其新型工艺包括以下步骤:S1、首先将硅片放置到片篮内部进行实时储存,并且将存放好硅片的片篮放置在载台上,通过启动控制片叉机械手去进行取片,片叉机械手取片后将片子放置在定心台,将定心台上的硅片通过相机进行拍照检测后,通过搬运机械手将片子搬到研磨台上进行研磨;S2、然后研磨结束通过搬运机械手将片子搬运到甩干台上,将其中搬运机械手的旋转轴速度进行实时提高,将片叉机械手的取片速度进行实时提高,将片叉机械手的放片速度进行实时提高,将喷头背吹气量进行实时加大,将甩干的气量也加大了,通过程序进行实时控制进行清洗和甩干工作;S3、最后通过片叉机械手将硅片4放入定心台后,就能立即去取甩干台上的硅片1,同时甩干台开始甩干台面,而搬运机械手去搬运研磨台A上加工完的硅片2,而这时的硅片3正在研磨台B上加工中,在甩干台甩干结束后,搬运机械手将硅片2放入甩干台开始甩干,而后搬运机械手立即去取定心台上的硅片4放入到研磨台A上,这时研磨台B上的硅片3加工完成,紧跟着片叉机械手去取下一张待加工的硅片5放入定心台,而甩干台上的硅片2也正好甩干结束,甩干结束后片叉机械手将片子放回篮里。

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