申请/专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司

申请日：2022-02-16

公开（公告）日：2022-06-21

公开（公告）号：CN114648489A

主分类号：G06T7/00

分类号：G06T7/00;G06T7/11;G06T7/12;G06T7/13;G06T7/187

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.07.08#实质审查的生效;2022.06.21#公开

摘要：本发明提供了一种键合能检测的图像处理方法、处理装置及检测装置，该方法包括：获取包含刀片以及所述刀片插入所产生的裂缝的目标图像；识别所述目标图像以确定所述刀片前端的第一边缘，获取所述第一边缘所在位置的第一坐标数据；识别所述目标图像以确定所述裂缝所在的区域远离所述刀片一侧的曲形的第二边缘，获取所述第二边缘的顶点所在位置的第二坐标数据；根据所述第一坐标数据与第二坐标数据，计算出所述第一边缘与所述第二边缘之间的目标距离。基于本发明的技术方案，可以通过图像识别自动求取裂缝区域在扩展方向上的宽度，从而自动计算并评估晶圆键合结构的键合强度，实现自动化检测，解决人工检测操作存在的效率低、测量精度差的问题。

主权项：1.一种键合能检测的图像处理方法，其特征在于，包括：获取包含刀片以及所述刀片插入所产生的裂缝的目标图像；识别所述目标图像以确定所述刀片前端的第一边缘，获取所述第一边缘所在位置的第一坐标数据；识别所述目标图像以确定所述裂缝所在的区域远离所述刀片一侧的曲形的第二边缘，获取所述第二边缘的顶点所在位置的第二坐标数据；根据所述第一坐标数据与第二坐标数据，计算出所述第一边缘与所述第二边缘之间的目标距离。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京华卓精科科技股份有限公司 键合能检测的图像处理方法、处理装置及检测装置

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