买专利,只认龙图腾
首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

【发明公布】WAT测试结构和方法_上海积塔半导体有限公司_202210345474.4 

申请/专利权人:上海积塔半导体有限公司

申请日:2022-03-31

公开(公告)日:2022-08-09

公开(公告)号:CN114883303A

主分类号:H01L23/544

分类号:H01L23/544;H01L21/66

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2022.08.26#实质审查的生效;2022.08.09#公开

摘要:本发明提供了一种WAT测试结构和方法,WAT测试结构包括:多个三区阵列单元,三区阵列单元包括具有第一掺杂类型的输入区和输出区以及具有第二掺杂类型的基区;基区分隔输入区与输出区,多个三区阵列单元的输入区和输出区之间具有不同的间隔尺寸;输入区接收电压输入信号,输出区输出电压输出信号;多个电压检测阵列单元,电压检测阵列单元与三区阵列单元一一对应,电压检测阵列单元接收电压输出信号并根据电压输出信号的大小输出对应的电流输出信号。本发明通过设置具有不同间隔尺寸的输入区和输出区,通过施加同一电压输入信号,判断PN结已导通的三区阵列单元的数量并表征PN结的耗尽层宽度范围。

主权项:1.一种WAT测试结构,其特征在于,包括:多个三区阵列单元,所述三区阵列单元包括具有第一掺杂类型的输入区和输出区以及具有第二掺杂类型的基区;所述基区分隔所述输入区与所述输出区,多个所述三区阵列单元的输入区和输出区之间具有不同的间隔尺寸;所述输入区接收电压输入信号,所述输出区输出电压输出信号;多个电压检测阵列单元,所述电压检测阵列单元与所述三区阵列单元一一对应,所述电压检测阵列单元接收所述电压输出信号并根据所述电压输出信号的大小输出对应的电流输出信号。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 上海积塔半导体有限公司 WAT测试结构和方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。