【发明公布】悬臂梁位移测量装置和测量方法_中国科学院合肥物质科学研究院_202210205478.2 

申请/专利权人:中国科学院合肥物质科学研究院

申请日:2022-03-04

公开(公告)日:2022-08-12

公开(公告)号:CN114894095A

主分类号:G01B11/02

分类号:G01B11/02

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2022.08.12#公开

摘要:本发明提供一种悬臂梁位移测量装置和测量方法。本发明的悬臂梁位移测量装置,包括悬臂梁、激光器、光学干涉系统、光电探测器,还包括第一控制器,其根据激光器的检测温度值与目标温度之差来生成用于控制激光器的温度的控制信号,来将激光器的温度控制成目标温度;和第二控制器,其根据光电探测器输出的干涉光光强电压信号与规定的基准电压值之差生成悬臂梁的位移信号,并将该位移信号作为目标温度相关信号输出到第一控制器,通过使第一控制器控制激光器的温度来改变所输出的激光的波长,来对光强电压信号进行反馈控制。采用本发明的装置和方法,能够提高悬臂梁静态位移测量的灵敏度和动态范围。

主权项:1.悬臂梁位移测量装置,其特征在于,包括:悬臂梁,其能够载置被测物,包括固定端和自由端,在所述自由端具有光反射面;激光器,其能够通过控制其温度而改变所输出的激光的波长;光学干涉系统,所述激光器输出的激光能够经由该光学干涉系统照射到所述悬臂梁的所述光反射面,在所述光反射面反射的光能够返回到所述光学干涉系统并发生光的干涉,生成干涉光;光电探测器,其能够检测所述干涉光而将所述干涉光的光强转换成光强电压信号;第一控制器,其根据所述激光器的检测温度值与目标温度之差来生成用于控制所述激光器的温度的控制信号,来将所述激光器的温度控制成目标温度;和第二控制器,其根据所述光电探测器输出的光强电压信号与规定的基准电压值之差生成所述悬臂梁的位移信号,并将该位移信号作为目标温度相关信号输出到所述第一控制器,通过使所述第一控制器控制所述激光器的温度来改变所输出的激光的波长,来对所述光强电压信号进行反馈控制。

全文数据:

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