申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司

申请日：2022-03-13

公开（公告）日：2022-08-12

公开（公告）号：CN114888658A

主分类号：B24B9/00

分类号：B24B9/00;B24B27/02;B24B27/00;B24B41/06;B24B55/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.08.30#实质审查的生效;2022.08.12#公开

摘要：本发明公开了一种ITO靶材的圆角加工方法，旨在降低夹紧靶材时的操作难度，其技术方案：涉及磨床、电磁吸盘以及夹紧组件，所述电磁吸盘设置在磨床上；所述夹紧组件包括2个夹块，2个所述夹块相对布置且两者之间形成夹紧空间；所述夹块可被电磁吸盘吸紧；2个所述夹块均连接有一弹性装置；包括如下步骤：将靶材插入夹紧空间，夹紧空间被撑开，弹性装置驱动夹块复位夹紧靶材；开启电磁吸盘，电磁吸盘吸紧2个夹块；开启磨床，磨床的砂轮打磨靶材的顶侧；打磨完靶材后，关闭磨床、电磁吸盘，取下靶材，属于靶材加工技术领域。

主权项：1.一种ITO靶材的圆角加工方法，其特征在于，涉及磨床、电磁吸盘1以及夹紧组件，所述电磁吸盘1设置在磨床上；所述夹紧组件包括2个夹块2，2个所述夹块2相对布置且两者之间形成夹紧空间；所述夹块2可被电磁吸盘1吸紧；2个所述夹块2均连接有一弹性装置3，当夹紧空间被撑开，弹性装置3使夹块2有复位的趋势；包括如下步骤：将靶材A插入夹紧空间，夹紧空间被撑开，弹性装置3驱动夹块2复位夹紧靶材A；开启电磁吸盘1，电磁吸盘1吸紧2个夹块2；开启磨床，磨床的砂轮4打磨靶材A的顶侧；其中，所述砂轮4包括第一磨削台41、设置在第一磨削台41上的第二磨削台42，所述第一磨削台41、第二磨削台42均为柱形且同轴心布置，所述第一磨削台41的直径大于第二磨削台42的直径；所述第一磨削台41、第二磨削台42通过圆角结构43以圆滑过渡的方式连接；砂轮4的圆角结构43打磨靶材A的顶侧的边缘；打磨完靶材A后，关闭磨床、电磁吸盘1，取下靶材A。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种ITO靶材的圆角加工方法

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