【发明公布】一种ITO靶材的圆角加工方法_先导薄膜材料(广东)有限公司_202210245382.9 

申请/专利权人:先导薄膜材料(广东)有限公司

申请日:2022-03-13

公开(公告)日:2022-08-12

公开(公告)号:CN114888658A

主分类号:B24B9/00

分类号:B24B9/00;B24B27/02;B24B27/00;B24B41/06;B24B55/00

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2022.08.12#公开

摘要:本发明公开了一种ITO靶材的圆角加工方法,旨在降低夹紧靶材时的操作难度,其技术方案:涉及磨床、电磁吸盘以及夹紧组件,所述电磁吸盘设置在磨床上;所述夹紧组件包括2个夹块,2个所述夹块相对布置且两者之间形成夹紧空间;所述夹块可被电磁吸盘吸紧;2个所述夹块均连接有一弹性装置;包括如下步骤:将靶材插入夹紧空间,夹紧空间被撑开,弹性装置驱动夹块复位夹紧靶材;开启电磁吸盘,电磁吸盘吸紧2个夹块;开启磨床,磨床的砂轮打磨靶材的顶侧;打磨完靶材后,关闭磨床、电磁吸盘,取下靶材,属于靶材加工技术领域。

主权项:1.一种ITO靶材的圆角加工方法,其特征在于,涉及磨床、电磁吸盘1以及夹紧组件,所述电磁吸盘1设置在磨床上;所述夹紧组件包括2个夹块2,2个所述夹块2相对布置且两者之间形成夹紧空间;所述夹块2可被电磁吸盘1吸紧;2个所述夹块2均连接有一弹性装置3,当夹紧空间被撑开,弹性装置3使夹块2有复位的趋势;包括如下步骤:将靶材A插入夹紧空间,夹紧空间被撑开,弹性装置3驱动夹块2复位夹紧靶材A;开启电磁吸盘1,电磁吸盘1吸紧2个夹块2;开启磨床,磨床的砂轮4打磨靶材A的顶侧;其中,所述砂轮4包括第一磨削台41、设置在第一磨削台41上的第二磨削台42,所述第一磨削台41、第二磨削台42均为柱形且同轴心布置,所述第一磨削台41的直径大于第二磨削台42的直径;所述第一磨削台41、第二磨削台42通过圆角结构43以圆滑过渡的方式连接;砂轮4的圆角结构43打磨靶材A的顶侧的边缘;打磨完靶材A后,关闭磨床、电磁吸盘1,取下靶材A。

全文数据:

权利要求:

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