【发明公布】垂直度测量探头及测量装置_深圳市深视智能科技有限公司_202210443972.2 

申请/专利权人:深圳市深视智能科技有限公司

申请日:2022-04-26

公开(公告)日:2022-08-12

公开(公告)号:CN114894122A

主分类号:G01B11/26

分类号:G01B11/26

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2022.08.12#公开

摘要:本申请提供了一种垂直度测量探头及测量装置。所述垂直度测量探头包括:第一透镜阵列,所述第一透镜阵列包括多个第一透镜,所述多个第一透镜用于将平行的第一光束分成会聚的多束第二光束,并分别聚焦至第一待测物面,然后经由所述多个第一透镜再分别接收被第一待测物面沿原光路反射或后向散射的多束第三光束,并合成平行的第四光束,所述第四光束可用于判断所述第一待测物面是否与第一预设基准线垂直,其中,所述第一预设基准线与所述多个第一透镜所在平面垂直。本申请提供的垂直度测量探头能够提高垂直度测量的精度。

主权项:1.一种垂直度测量探头,其特征在于,所述垂直度测量探头包括:第一透镜阵列,所述第一透镜阵列包括多个第一透镜,所述多个第一透镜用于将平行的第一光束分成会聚的多束第二光束,并分别聚焦至第一待测物面,然后经由所述多个第一透镜再分别接收被第一待测物面沿原光路反射或后向散射的多束第三光束,并合成平行的第四光束,所述第四光束可用于判断所述第一待测物面是否与第一预设基准线垂直,其中,所述第一预设基准线与所述多个第一透镜所在平面垂直。

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权利要求:

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