【发明授权】一种反MMI型波导马赫-曾德干涉器的制备方法_聊城大学_202010348656.8 

申请/专利权人:聊城大学

申请日:2020-04-28

公开(公告)日:2022-08-12

公开(公告)号:CN111308612B

主分类号:G02B6/13

分类号:G02B6/13;G02B6/136;G02B6/122

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2022.08.12#授权;2020.07.14#实质审查的生效;2020.06.19#公开

摘要:本申请提供一种反MMI型波导马赫‑曾德干涉器的制备方法,在各种类型的条形光波导的基础上,制作两个沟槽;沟槽内侧壁所围成的区域与原条形波导区域重合,即将原波导重构为脊型波导;所述脊型波导的宽度与原条形波导宽度等于或小于原条形波导。该方案可以极大简化波导马赫‑曾德干涉器的制备过程,并可将干涉器的总长度减少到数微米至数十微米量级,从而为基于各类低折射率对比波导的集成光学芯片开发,以及高性能的微型波导传感器制备提供了新的思路。

主权项:1.一种反MMI型波导马赫-曾德干涉器的制备方法,其特征在于,包括步骤如下:在条形光波导结构的基础上制备两条沟槽;所述两条沟槽内侧壁所围成的区域与原条形波导区域重合,即将原波导重构为脊型波导;所述脊型波导的宽度与原条形波导宽度相等或小于原条形波导;所述两条沟槽之间填充有低折射率介质,所述低折射率介质为折射率低于原条形波导衬底材料的介质;在竖直方向满足弱导条件,而在水平方向具有较大折射率差对比的情况下,波导中存在一类“离轴”模式。

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权利要求:

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