申请/专利权人：聊城大学

申请日：2020-04-28

公开（公告）日：2022-08-12

公开（公告）号：CN111308612B

主分类号：G02B6/13

分类号：G02B6/13;G02B6/136;G02B6/122

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.08.12#授权;2020.07.14#实质审查的生效;2020.06.19#公开

摘要：本申请提供一种反MMI型波导马赫‑曾德干涉器的制备方法，在各种类型的条形光波导的基础上，制作两个沟槽；沟槽内侧壁所围成的区域与原条形波导区域重合，即将原波导重构为脊型波导；所述脊型波导的宽度与原条形波导宽度等于或小于原条形波导。该方案可以极大简化波导马赫‑曾德干涉器的制备过程，并可将干涉器的总长度减少到数微米至数十微米量级，从而为基于各类低折射率对比波导的集成光学芯片开发，以及高性能的微型波导传感器制备提供了新的思路。

主权项：1.一种反MMI型波导马赫-曾德干涉器的制备方法，其特征在于，包括步骤如下：在条形光波导结构的基础上制备两条沟槽；所述两条沟槽内侧壁所围成的区域与原条形波导区域重合，即将原波导重构为脊型波导；所述脊型波导的宽度与原条形波导宽度相等或小于原条形波导；所述两条沟槽之间填充有低折射率介质，所述低折射率介质为折射率低于原条形波导衬底材料的介质；在竖直方向满足弱导条件，而在水平方向具有较大折射率差对比的情况下，波导中存在一类“离轴”模式。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 聊城大学 一种反MMI型波导马赫-曾德干涉器的制备方法

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