申请/专利权人：山东乾能科技创新有限公司

申请日：2022-07-18

公开（公告）日：2022-08-19

公开（公告）号：CN114917948A

主分类号：B01J27/24

分类号：B01J27/24;G01N27/12

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.10.25#授权;2022.09.06#实质审查的生效;2022.08.19#公开

摘要：本发明涉及一种g‑C3N4‑Ag3PO4纳米材料的制备方法、MEMS氨气传感器及其应用，属于MEMS气体传感器技术领域。本发明所述纳米材料的制备方法包括：（1）以三聚氰胺为原料，置于马弗炉中进行一次煅烧，然后升温进行二次煅烧；（2）对g‑C3N4进行酸化处理，得到g‑C3N4纳米片；（3）制得Ag3PO4纳米颗粒；（4）对g‑C3N4纳米片进行超声处理，然后加入Ag3PO4纳米颗粒，采用水相原位沉淀法，制得g‑C3N4‑Ag3PO4纳米材料。还公开了基于所述纳米材料制备的MEMS氨气传感器及其应用。本发明设计科学合理，制得的MEMS氨气传感器灵敏度高、响应恢复时间快、选择性高。

主权项：1.一种基于g-C3N4-Ag3PO4纳米材料的MEMS氨气传感器，其特征在于：包括以下制备步骤：（1）将微热板与管壳清理后，使用贴片机将微热板与管壳进行粘合，然后进行固化；（2）使用金丝进行微热板引线键合；（3）使用微电子打印机对键合完成后的微热板和管壳进行g-C3N4-Ag3PO4纳米材料喷涂，将纳米材料喷涂在微热板上，然后进行材料固化；（4）将密封胶在管壳周围均匀点胶，进行管帽封盖，固化；（5）使用表面贴装的陶瓷封装底座对微热板进行封装，得到MEMS氨气传感器。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 山东乾能科技创新有限公司 g-C₃N₄-Ag₃PO₄纳米材料的制备方法、MEMS氨气传感器及其应用

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