申请/专利权人：浙江大学

申请日：2022-05-16

公开（公告）日：2022-09-16

公开（公告）号：CN115060191A

主分类号：G01B11/24

分类号：G01B11/24;G01J3/12;G01J3/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.10.04#实质审查的生效;2022.09.16#公开

摘要：本发明公开一种基于线性滤光器分光的用于三维面型测量的光谱共焦系统，包括：宽光谱光源，用于提供有一定波长范围的光辐射；线性滤光片，用于将光辐射源发射的光利用波长选择透过特性分成分离的波长；第一消像差镜组，用于使不同波长的光经过偏折成像在被测物体表面深度方向的不同高度上；光辐射处理单元，在镜面反射方向上接受从被测量物体表面反射的光辐射，并引导至所述检测器；探测器，用于接收从所测量的物体反射的辐射。本发明使用线性滤光器实现色散，在保证色散分辨率和测量精度的同时，使得面型深度和波长成完全的线性关系，在面形测量时可以测量更大的深度范围。

主权项：1.一种基于线性滤光器分光的用于三维面型测量的光谱共焦系统装置，其特征在于，包括：宽光谱光源，用于提供有一定波长范围的光辐射；线性滤光片，用于调整所述光辐射，利用波长选择透过特性将光分成分离的波长，第一消像差镜组，用于调整经过所述线性滤光片后的光辐射，使所述分离波长的光辐射从不同的方向上引导至所测量的物体表面，从而使不同波长的光辐射成像在被测物体表面深度方向上的不同高度处；光辐射处理单元，将成像在被测物体表面测量点的光辐射在镜面反射方向上引导至探测器，使该波长的光辐射在镜面反射后的光路与镜面反射前光路对称，而未能成像在被测物体表面测量点的光辐射则不被引导至所述探测器；光辐射处理单元包括第二消像差透镜组、后置滤光片和第三消像差透镜组；其中，第二消像差透镜组将成像在被测物体表面测量点的光辐射引导到后置滤光片上；后置滤光片具有和所述线性滤光片相同的波长透过特性，并且对称放置；第三消像差透镜组将被后置滤光片处理过的光辐射引导到探测器的对应位置上；探测器，用于接收从所测量的物体反射的辐射。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江大学 一种基于线性滤光器分光的用于三维面型测量的光谱共焦系统

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