【发明公布】探针测量的控制方法、处理方法以及装置_百及纳米技术(上海)有限公司_202110265460.7 

申请/专利权人:百及纳米技术(上海)有限公司

申请日:2021-03-11

公开(公告)日:2022-09-20

公开(公告)号:CN115078771A

主分类号:G01Q10/00

分类号:G01Q10/00;G01Q30/04;G01Q70/06

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2022.09.20#公开

摘要:本发明提供了一种探针测量的控制方法、处理方法以及装置,所述探针测量的控制方法包括,控制M个测量探针与N个预警探针扫描待测表面时,通过所述预警探针检测所述待测表面的障碍物,获取对应的障碍物检测信号,其中,沿扫描运动方向,所述M个测量探针与所述N个预警探针依次分布;N、M均为大于或等于1的整数;根据所述障碍物检测信号,控制所述测量探针跨越过所检测到的障碍物。其中的预警探针可以识别障碍物,当检测到障碍物时,对测量探针产生预警,使得测量探针在到达障碍物之前就进行高度调整,而不需要降低横向速度来避免撞上障碍物,进而提高测量速度;本发明能够实现高速、精确的表面扫描测量。

主权项:1.一种探针测量的控制方法,其特征在于,包括:控制M个测量探针与N个预警探针扫描待测表面时,通过所述预警探针检测所述待测表面的障碍物,获取对应的障碍物检测信号,其中,沿扫描运动方向,所述M个测量探针与所述N个预警探针依次分布;N、M均为大于或等于1的整数;根据所述障碍物检测信号,控制所述测量探针跨越过所检测到的障碍物。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 百及纳米技术(上海)有限公司 探针测量的控制方法、处理方法以及装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。