申请/专利权人：百及纳米技术(上海)有限公司

申请日：2021-03-11

公开（公告）日：2022-09-20

公开（公告）号：CN115078771A

主分类号：G01Q10/00

分类号：G01Q10/00;G01Q30/04;G01Q70/06

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.10.11#实质审查的生效;2022.09.20#公开

摘要：本发明提供了一种探针测量的控制方法、处理方法以及装置，所述探针测量的控制方法包括，控制M个测量探针与N个预警探针扫描待测表面时，通过所述预警探针检测所述待测表面的障碍物，获取对应的障碍物检测信号，其中，沿扫描运动方向，所述M个测量探针与所述N个预警探针依次分布；N、M均为大于或等于1的整数；根据所述障碍物检测信号，控制所述测量探针跨越过所检测到的障碍物。其中的预警探针可以识别障碍物，当检测到障碍物时，对测量探针产生预警，使得测量探针在到达障碍物之前就进行高度调整，而不需要降低横向速度来避免撞上障碍物，进而提高测量速度；本发明能够实现高速、精确的表面扫描测量。

主权项：1.一种探针测量的控制方法，其特征在于，包括：控制M个测量探针与N个预警探针扫描待测表面时，通过所述预警探针检测所述待测表面的障碍物，获取对应的障碍物检测信号，其中，沿扫描运动方向，所述M个测量探针与所述N个预警探针依次分布；N、M均为大于或等于1的整数；根据所述障碍物检测信号，控制所述测量探针跨越过所检测到的障碍物。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 百及纳米技术(上海)有限公司 探针测量的控制方法、处理方法以及装置

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