申请/专利权人：昭和电工材料株式会社;上海交通大学

申请日：2019-12-19

公开（公告）日：2022-09-20

公开（公告）号：CN115087929A

主分类号：G03F7/075

分类号：G03F7/075;C08F230/08;C08F220/06;C08F220/04;G03F7/40;C08F290/00;G03F7/004

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.10.11#实质审查的生效;2022.09.20#公开

摘要：本发明提供一种碱溶性树脂，其包含具有极性转换基的结构单元和具有羧基的结构单元，其中，所述极性转换基具有在弱碱性条件下不会被消除但在强碱性条件下被消除的基团。

主权项：1.一种碱溶性树脂，其包含具有极性转换基的结构单元和具有羧基的结构单元，其中，所述极性转换基具有在弱碱性条件下不会被消除但在强碱性条件下被消除的基团。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 昭和电工材料株式会社;上海交通大学 碱溶性树脂、感光性树脂组合物、感光元件、抗蚀剂图案的形成方法及布线图案的形成方法

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