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【发明公布】标记图形、光罩、光罩检测方法及介质_长鑫存储技术有限公司_202210860511.5 

申请/专利权人:长鑫存储技术有限公司

申请日:2022-07-21

公开(公告)日:2022-09-20

公开(公告)号:CN115079511A

主分类号:G03F1/42

分类号:G03F1/42;G03F1/44;G03F1/84

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2022.10.11#实质审查的生效;2022.09.20#公开

摘要:本公开涉及一种标记图形,用于设置在光罩的切割道内,包括沿第一方向依次排布的第一标记图形、第二标记图形及第三标记图形;所述第一标记图形、所述第二标记图形位于所述光罩的边缘处裸片区沿所述第一方向的相对两侧,用于限定所述裸片区沿所述第一方向的长度,且所述第一标记图形位于所述光罩的外围区内;所述第三标记图形与所述第二标记图形位于沿所述第一方向相邻裸片区之间,且用于限定沿所述第一方向相邻裸片区之间的间距。采用本公开提供的光罩,可以提高光罩裸片区划分的精确度及效率,使机台顺利进行缺陷检测,避免光罩上存在缺陷漏检的情况,节省企业的经济成本、时间成本以及人力成本。

主权项:1.一种标记图形,其特征在于,用于设置在光罩的切割道内,包括沿第一方向依次排布的第一标记图形、第二标记图形及第三标记图形;所述第一标记图形、所述第二标记图形位于所述光罩的边缘处裸片区沿所述第一方向的相对两侧,用于限定所述裸片区沿所述第一方向的长度,且所述第一标记图形位于所述光罩的外围区内;所述第三标记图形与所述第二标记图形位于沿所述第一方向相邻裸片区之间,且用于限定沿所述第一方向相邻裸片区之间的间距。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 长鑫存储技术有限公司 标记图形、光罩、光罩检测方法及介质

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