申请/专利权人：中国电子科技集团公司第五十八研究所

申请日：2022-07-22

公开（公告）日：2022-09-20

公开（公告）号：CN115072655A

主分类号：B81C1/00

分类号：B81C1/00;A61N2/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.11.11#授权;2022.10.11#实质审查的生效;2022.09.20#公开

摘要：本发明公开一种生物兼容微螺线管的晶圆级制备方法，属于集成电路封装和医疗器材领域，在载板上制备线圈第一走线层；制备第一介质层覆盖第一走线层；在第一介质层表面制备磁性管芯；制备第二介质层覆盖所述磁性管芯；刻蚀介质层通孔贯穿第一介质层和第二介质层；制备通孔走线层和第二走线层；减薄底部的载板并划片，形成独立或组合的微螺线管结构；对每个所述微螺线管结构进行生物兼容聚合物涂覆并固化。本发明解决了传统植入式电刺激装置的胶质增生问题，可应用于植入式磁场刺激装置治疗各类神经疾病，避免组织液渗透进入微螺线管造成腐蚀以及重金属离子使组织中毒；通过使用晶圆级制备工艺完成整个工艺流程，实现了工艺一致性和批量生产。

主权项：1.一种生物兼容微螺线管的晶圆级制备方法，其特征在于，包括：在载板上制备线圈第一走线层；制备第一介质层覆盖所述第一走线层；在所述第一介质层表面制备磁性管芯；制备第二介质层覆盖所述磁性管芯；刻蚀介质层通孔贯穿所述第一介质层和所述第二介质层；制备通孔走线层和第二走线层；减薄底部的载板并划片，形成独立或组合的微螺线管结构；对每个所述微螺线管结构进行生物兼容聚合物涂覆并固化。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国电子科技集团公司第五十八研究所 一种生物兼容微螺线管的晶圆级制备方法

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