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【发明公布】影像仪的校准方法和校准装置_深圳市中图仪器股份有限公司_202210878105.1 

申请/专利权人:深圳市中图仪器股份有限公司

申请日:2022-07-25

公开(公告)日:2022-09-20

公开(公告)号:CN115077400A

主分类号:G01B11/06

分类号:G01B11/06;G01B21/04

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2022.10.11#实质审查的生效;2022.09.20#公开

摘要:本公开提供一种影像仪的校准方法和校准装置,影像仪包括在目标平面内移动的载物台和沿目标方向移动的镜头,目标方向与目标平面垂直,校准方法包括准备步骤和校准步骤,准备步骤包括:控制镜头位于目标位置,将校准仪安装于影像仪,将校准件放置于载物台,校准件包括多个沿目标方向排布的量块,将探测部移动至相邻的量块之间,基于多个量块的位置关系形成影像仪的控制方案,校准步骤包括:基于控制方案控制载物台和镜头移动以使探测部与量块接触,记录探测部与量块接触时镜头的在目标方向的移动距离,基于移动距离与位置关系计算校准误差,并基于校准误差对影像仪进行校准。根据本公开,能够提供便携的对影像仪进行校准的校准方法和校准装置。

主权项:1.一种影像仪的校准方法,所述影像仪包括可在目标平面内移动的载物台和可相对于所述载物台沿目标方向移动的镜头,所述目标方向与所述目标平面垂直,其特征在于,所述校准方法包括准备步骤和校准步骤,所述准备步骤包括:控制所述镜头靠近所述载物台以使所述镜头位于目标位置,将校准仪安装于所述影像仪,所述校准仪包括固定于所述镜头的探测部,将校准件放置于所述载物台,所述校准件包括多个沿所述目标方向排布的量块,将所述探测部移动至相邻的量块之间,基于所述多个量块的位置关系形成所述影像仪的控制方案,所述校准步骤包括:基于所述控制方案控制所述载物台和所述镜头移动以使所述探测部与多个量块的各个量块接触,记录所述探测部与所述各个量块接触时所述镜头的在所述目标方向的移动距离,基于所述移动距离与所述位置关系计算校准误差,并基于所述校准误差对所述影像仪进行校准。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 深圳市中图仪器股份有限公司 影像仪的校准方法和校准装置

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