申请/专利权人：株式会社斯库林集团

申请日：2022-03-09

公开（公告）日：2022-09-20

公开（公告）号：CN115083954A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;F17D1/14;F17D3/01

优先权：["20210310 JP 2021-038356"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.10.11#实质审查的生效;2022.09.20#公开

摘要：本发明涉及一种衬底处理装置及供给阀。供给阀21具备作为开关阀55发挥功能的构成开关阀室65、阀座71、隔膜73及开关驱动部75。在开关阀室65连接着将开关阀室65内的气泡排出的排气流路103。由此，即使在开启及关闭开关阀55时产生气泡，也能通过排气流路103排出开关阀室65内的气泡。因此，能够防止因气泡被供给到衬底上等而造成制品缺陷。

主权项：1.一种衬底处理装置，其特征在于具备：喷嘴，对衬底喷出处理液；供给阀，用于对所述喷嘴供给处理液；及喷嘴侧配管，将所述喷嘴与所述供给阀的出口相连；且所述供给阀具备：流路区块；开关阀室，形成于所述流路区块；入口侧流路，形成于所述流路区块，构成为供在入口与所述开关阀室之间流动液体；出口侧流路，形成于所述流路区块，构成为供在所述开关阀室与所述出口之间流动液体；开关阀体，配置在所述开关阀室内；阀座，设置在所述开关阀室与所述出口侧流路的交界，构成为在所述开关阀室内支承所述开关阀体；开关驱动部，通过将所述开关阀体压抵在所述阀座，而停止处理液从所述开关阀室向所述出口侧流路的流动，另外，通过使压抵的所述开关阀体离开所述阀座，而使处理液从所述开关阀室流向所述出口侧流路；及排气流路，形成于所述流路区块，与所述开关阀室连接而将所述开关阀室内的气泡排出。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 衬底处理装置及供给阀

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