申请/专利权人:株式会社日立制作所
申请日:2022-03-08
公开(公告)日:2022-09-20
公开(公告)号:CN115069490A
主分类号:B05C5/02
分类号:B05C5/02;B05C11/10
优先权:["20210310 JP 2021-038476"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2023.11.17#授权;2022.10.11#实质审查的生效;2022.09.20#公开
摘要:本发明提供尽管为简便的结构却能够将多种液滴以混合状态涂布的液滴涂布装置。液滴涂布装置具备:液滴供给部,其供给液滴;以及扫描部,其使所述液滴供给部在沿着所述液滴的涂布面的多个扫描方向上进行扫描,所述液滴供给部具有将不同种类的液滴喷出的各多个喷嘴,并在沿着所述涂布面的多个方向上交替配置有所述各多个喷嘴。
主权项:1.一种液滴涂布装置,其中,所述液滴涂布装置具备:液滴供给部,其供给液滴;以及扫描部,其使所述液滴供给部在沿着所述液滴的涂布面的多个扫描方向上相对于所述涂布面相对地扫描,所述液滴供给部具有将不同种类的液滴喷出的各多个喷嘴,并在沿着所述涂布面的多个方向上交替配置有所述各多个喷嘴。
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