申请/专利权人：家登精密工业股份有限公司

申请日：2022-03-11

公开（公告）日：2022-09-20

公开（公告）号：CN115079508A

主分类号：G03F1/22

分类号：G03F1/22;G03F1/66

优先权：["20210312 US 63/160,066","20210928 US 63/249,155","20220302 US 17/684,879"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.10.11#实质审查的生效;2022.09.20#公开

摘要：本发明公开一种光掩膜储存盒及光掩膜固持方法，包括一基座，其具有多个支撑件，每个所述支撑件用于支撑一光掩膜的一隅角，每个所述支撑件向上延伸一对限位块，该对限位块分别位于所述隅角的两个侧面；以及一封盖，对应多个所述支撑件分别配置有多个弹性下压机构，多个所述弹性下压机构与多个所述支撑件分别对应设置，每个所述弹性下压机构具有至少一弹性臂，所述弹性臂作用于对应的所述支撑件所支撑的所述光掩膜的所述隅角；其中，在所述封盖与所述基座盖合以收容所述光掩膜的状态下，该对限位块限制所述弹性臂的横向位移；本发明的光掩膜储存盒具备足够的防止外部微粒入侵的保护机制，且无须复杂结构与加工，有助于降低制造成本。

主权项：1.一种光掩膜储存盒，其特征在于，包括：一基座，其具有多个支撑件，每个所述支撑件用于支撑一光掩膜的一隅角，每个所述支撑件向上延伸一对限位块，该对限位块分别位于所述隅角的两个侧面；以及一封盖，对应多个所述支撑件分别配置有多个弹性下压机构，每一每个所述弹性下压机构具有至少一弹性臂，所述弹性臂作用于对应的所述支撑件所支撑的所述光掩膜的所述隅角；其中，在所述封盖与所述基座盖合以收容所述光掩膜的状态下，该对限位块限制所述弹性臂的横向位移。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 家登精密工业股份有限公司 光掩膜储存盒及光掩膜固持方法

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