申请/专利权人：华灿光电(苏州)有限公司

申请日：2022-04-27

公开（公告）日：2022-09-20

公开（公告）号：CN115074823A

主分类号：C30B25/12

分类号：C30B25/12;C30B25/02;C23C16/458

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.10.11#实质审查的生效;2022.09.20#公开

摘要：本公开公开了一种提高外延片成片良率的外延托盘及其使用方法，属于外延生长技术领域。每个圆形凹槽被圆形凹槽对应的衬底放置圈划分为靠近外延托盘的轴线的第一部分与远离外延托盘的轴线的第二部分，在每个圆形凹槽的侧壁设置多个并列的波浪条形槽，且多个并列的波浪条形槽在圆形凹槽的底面的正投影与第二部分存在重合区域。与第二部分存在重合区域的波浪条形槽可以有效增加衬底与圆形凹槽的侧壁之间在各方向上的摩擦力，有效降低外延托盘在高速转动的过程中，衬底在惯性或者离心力的作用下脱离圆形凹槽的可能性，以降低衬底损坏并影响其他衬底上生长外延材料的可能，提高外延托盘同批次产出的外延片的成片良率。

主权项：1.一种提高外延片成片良率的外延托盘，其特征在于，所述外延托盘为圆柱体，所述外延托盘在端面具有多个同心的衬底放置圈，每个所述衬底放置圈都包括多个沿所述外延托盘的周向均匀分布的圆形凹槽，每个所述圆形凹槽被所述圆形凹槽对应的所述衬底放置圈划分为靠近所述外延托盘的轴线的第一部分与远离所述外延托盘的轴线的第二部分，所述圆形凹槽的侧壁具有多个并列的波浪条形槽，所述多个并列的波浪条形槽在所述圆形凹槽的底面的正投影与所述第二部分存在重合区域。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华灿光电(苏州)有限公司 提高外延片成片良率的外延托盘及其使用方法

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