申请/专利权人：上海航天设备制造总厂有限公司

申请日：2022-06-07

公开（公告）日：2022-09-20

公开（公告）号：CN115074683A

主分类号：C23C14/35

分类号：C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.10.11#实质审查的生效;2022.09.20#公开

摘要：本发明公开了一种重载荷耐潮解润滑膜层及其制备方法，通过磁控溅射在钛合金、铝合金、不锈钢、轴承钢等金属或陶瓷基材上沉积制备纳米结构镶嵌于非晶结构的耐潮解抗菌膜层，解决空间站实验舱运动部件在舱内外交变环境下重载荷耐潮解抗菌润滑需求。本发明提供的重载荷耐潮解润滑膜层通过非晶碳和WS2复配，得到的非晶碳包裹纳米晶的结构可大幅度提高单一WS2承载能力差和耐蚀性差的问题。膜层中引入的纳米Ag颗粒，有效提高了膜层的耐生物腐蚀特性。所获得的多层结构、多元复配润滑膜层可有效解决传统单一结构润滑膜层多环境适应性差问题。

主权项：1.一种重载荷耐潮解润滑膜层，其特征在于，由基材、打底层、过渡层和表面纳米功能层构成；所述重载荷耐潮解润滑膜层的制备方法为：S1、丙酮超声清洗基材：在丙酮中超声清洗基材15min-20min；S2、等离子清洗基材：氩等离子清洗基材5-40min；S3、打底层制备：采用磁控溅射制备打底层；S4、过渡层制备：采用磁控共溅射制备过渡层；S5、表面纳米功能层制备：采用磁控共溅射制备表面纳米功能层；其中，所述打底层材料为Cr、Si、Ti中任意一种；所述过渡层中打底层材料含量沿膜层生长方向逐步递减，WS2和C含量沿膜层生长方向逐步递增；所述表面纳米功能层结构为纳米WS2片晶和纳米银颗粒镶嵌于网格状非晶碳的结构。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海航天设备制造总厂有限公司 一种重载荷耐潮解润滑膜层

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