申请/专利权人:苏州工业园区浩高电子科技有限公司
申请日:2022-06-09
公开(公告)日:2022-09-20
公开(公告)号:CN115078776A
主分类号:G01R1/04
分类号:G01R1/04;G01R1/073
优先权:
专利状态码:失效-发明专利申请公布后的撤回
法律状态:2023.11.24#发明专利申请公布后的撤回;2022.10.11#实质审查的生效;2022.09.20#公开
摘要:本发明公开了半导体检测用探针平台,包括底板、设置在底板上的驱动机构和置物台、被驱动机构驱动的升降板、设置在升降板上的探针机构;驱动机构包括与升降板螺接的螺纹杆,安装在螺纹杆上的大小齿轮,螺纹杆的外围设有圆筒,圆筒的内壁上设有错位设置的上齿条和下齿条,上齿条能够与大齿轮啮合,下齿条能够与小齿轮啮合;底板上设有驱动圆筒旋转的蜗轮蜗杆机构,蜗杆上设有能够上下转动的盘形件。本发明采用一个盘形件,向下转动盘形件,能够实现升降台的快速下降后再缓慢下降。向上转动盘形件,能够实现升降台的缓慢上升后再快速上升。因此,本发明能够使操作者方向准确地升降所述升降台及其上的探针机构。
主权项:1.半导体检测用探针平台,包括底板10、设置在底板上的驱动机构20和置物台30、被驱动机构驱动的升降板40、设置在升降板上的探针机构50;驱动机构包括与升降板螺接的螺纹杆21,安装在螺纹杆上的大齿轮22和小齿轮23,其特征在于:螺纹杆的外围设有圆筒24,圆筒的旋转中心线平行于螺纹杆的中心线,圆筒的内壁上设有上齿条241和下齿条242,上齿条和下齿条错位设置,上齿条能够与大齿轮啮合,下齿条能够与小齿轮啮合;底板上设有驱动圆筒旋转的蜗轮蜗杆机构,蜗杆251上设有能够上下转动的盘形件26。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 苏州工业园区浩高电子科技有限公司 半导体检测用探针平台
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