申请/专利权人：深圳市欧西徳光控科技有限公司

申请日：2022-06-13

公开（公告）日：2022-09-20

公开（公告）号：CN115077699A

主分类号：G01J3/28

分类号：G01J3/28;G01B11/06;G01N21/21;C23C26/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.10.11#实质审查的生效;2022.09.20#公开

摘要：本发明涉及一种高分辨率光谱仪，包括依次设置在光路上的狭缝、准直物镜、分光元件、成像物镜和面阵探测器，面阵探测器的像素阵列面的阵列方向与狭缝在成像物镜的焦平面的像的方向成预设夹角，使面阵探测器的像素阵列面中与像的方向接近平行的阵列方向单列行的多个像素分别探测不同波长的谱线，有效避免现有光谱仪中面阵探测器的像素阵面中与像的方向平行的阵列方向单列行多个像素仅探测一个波长的谱线，位于相邻单列行像素之间的谱线不能被探测的弊端；从而实现在不改变面阵探测器分辨率的情况下，提高光谱仪的分辨率。

主权项：1.一种高分辨率光谱仪，其特征在于，包括依次设置在光路上的狭缝、准直物镜、分光元件、成像物镜和面阵探测器，从所述狭缝出射的光经过所述准直物镜后形成平行光，平行光经过所述分光元件分光，分光后的光束经过所述成像物镜成像到所述面阵探测器的像素阵列面1上，所述像素阵列面1设置在所述成像物镜的焦平面，且所述像素阵列面1的阵列方向与所述狭缝在所述成像物镜的焦平面的像2的方向成预设夹角。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市欧西徳光控科技有限公司 一种高分辨率光谱仪

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